真空鍍膜設(shè)備應(yīng)用十分廣泛,如今在我們的生活中到處可見(jiàn),是必不可少的一項(xiàng)技術(shù)。但是真空鍍膜設(shè)備在使用一段時(shí)間后,表面就會(huì)留下灰塵影響真空鍍膜的整體效果。
那么如何處理真空鍍膜的灰塵呢?
1、設(shè)備使用的源材料要符合必要的純度要求。
2、設(shè)備樣品取出后要注意放置環(huán)境的清潔問(wèn)題。
3、真空鍍膜一段時(shí)間后,真空室內(nèi)壁必須要清潔處理。
4、真空鍍膜清洗襯底材料,必須要做到嚴(yán)格合乎工藝要求。
5、真空鍍膜適當(dāng)?shù)脑黾迎h(huán)境的濕度,有利于降低周?chē)h(huán)境的懸浮固體顆粒物。
6、工作人員在操作時(shí)需要戴手套、腳套等,要有專(zhuān)門(mén)的服裝。
由于灰塵對(duì)鍍膜效果會(huì)產(chǎn)生比較大的影響,因此為了避免在真空鍍膜設(shè)備中留下灰塵,應(yīng)該在使用中注意以上幾點(diǎn)來(lái)盡量避免,除此也要注意經(jīng)常清洗,避免灰塵越積越多。
鍍膜技術(shù)在集成電路制造中的應(yīng)用 晶體管路中的保護(hù)層(SiO2、Si3N4)、電極管線(多晶硅、鋁、銅及其合金)等多是采用CVD技術(shù)、PVCD技術(shù)、真空蒸發(fā)金屬技術(shù)、磁控濺射技術(shù)和射頻濺射技術(shù)??梢?jiàn)氣相沉積術(shù)制備集成電路的核心技術(shù)之一。
真空鍍膜機(jī)主要指一類(lèi)需要在較高真空度下進(jìn)行的鍍膜,具體包括很多種類(lèi),包括真空離子蒸發(fā),磁控濺射,MBE分子束外延,PLD激光濺射沉積等很多種。主要思路是分成蒸發(fā)和濺射兩種。
需要鍍膜的被稱(chēng)為基片,鍍的材料被稱(chēng)為靶材。 基片與靶材同在真空腔中。
關(guān)機(jī)操作順序;
1.關(guān)高真空表頭、關(guān)分子泵。
2.待分子泵顯示到50時(shí),依次關(guān)高閥、前級(jí)、機(jī)械泵,這期間約需40分鐘。
3.到50以下時(shí),再關(guān)維持泵。
真空鍍膜機(jī)-適用范圍
1.建筑五金:衛(wèi)浴五金(如水龍頭).門(mén)鎖.門(mén)拉手.衛(wèi)浴、門(mén)鎖、五金合葉、家具等
2.制表業(yè):可用于表殼.表帶的鍍膜、水晶制品
3.其它小五金:皮革五金.不銹鋼餐具.眼鏡框、刀具、模具等.
4.大型工件:汽車(chē)輪轂、不銹鋼板.招牌.雕塑等
5、鎖具、拉手、衛(wèi)浴五金、高爾夫球頭、不銹鋼餐具、器血等五金制品鍍超硬裝飾膜。
6、手表、表帶、眼鏡、首飾等裝飾品鍍超耐磨裝飾納米膜和納米膜和納米疊層膜
7、不銹鋼管和板
8、家具、燈具、賓館用具