粗抽泵：從大氣壓下開始抽氣，并將系統(tǒng)壓力抽到另一真空泵開始工作的真空泵。如真空鍍膜機中的滑閥泵，就是粗油泵。

　　(4)維持泵：在真空系統(tǒng)中，氣量很小時，不能有效地利用前級泵。為此配置一種容量較小的輔助泵來維持主泵工作，此泵叫維持泵。如擴散泵出口處配一臺小型旋片泵，就是維持泵。

只要儀器和系統(tǒng)控制軟件的連接，它可以控制涂層的全過程。但(QCM)的準(zhǔn)確性是有限的，鍍膜機部分原因是其監(jiān)測代替光學(xué)厚度的涂層質(zhì)量。

膜層結(jié)合力強，在真空電鍍加工過程中，有部分電子撞擊到基材表面，表面原子，并且產(chǎn)生清潔的作用，而鍍材通過濺射所獲得的能量比蒸發(fā)所獲得的能量高出1到2個數(shù)量級，帶有如此高能量的鍍材原子撞擊到基材表面時，有更多的能量可以傳遞到基材上，產(chǎn)生更多的熱能，使被電子的原子加速運動，與部分鍍材原子更早互相溶合到一起，其他鍍材原子緊隨著陸續(xù)沉積成膜，加強了膜層與基材的結(jié)合力。PVD鍍膜而故障的原因往往存在于以上各影響因素的一兩個細節(jié)之中。

化學(xué)氣相沉積技術(shù)是把含有構(gòu)成薄膜元素的單質(zhì)氣體或化合物供給基體，借助氣相作用或基體表面上的化學(xué)反應(yīng)，在基體上制出金屬或化合物薄膜的方法，主要包括常壓化學(xué)氣相沉積、低壓化學(xué)氣相沉積和兼有CVD和PVD兩者特點的等離子化學(xué)氣相沉積等。

真空鍍膜技術(shù)與濕式鍍膜技術(shù)相比較，具有下列優(yōu)點：(1)薄膜和基體選材廣泛，薄膜厚度可進行控制，以制備具有各種不同功能的功能性薄膜。比如，拋光時會把車漆堅固的漆釉磨掉，這是物理層面的傷害，這對車還是有損害的。(2)在真空條件下制備薄膜，環(huán)境清潔，薄膜不易受到污染，因此可獲得致密性好、純度高和涂層均勻的薄膜。(3)薄膜與基體結(jié)合強度好，薄膜牢固。(4)干式鍍膜既不產(chǎn)生廢液，也無環(huán)境污染。

釹鐵硼稀土磁性材料是一種問世不久的新型強磁材料。近年來在小型馬達、汽車電子，工具、揚聲器、電力工具等方面應(yīng)用發(fā)展很快。在鹽霧試驗及其它惡劣環(huán)境下仍能保持電路板的高可靠性，并且不會影響電路板上電阻、熱電偶和其它元器件的功能。但釹鐵硼稀土磁性材料弱點是容易被空氣中的水分及氧氣所腐蝕，因此必須有一個安全可靠的防護涂層釹鐵硼稀土磁性材料才有使用價值。目前國內(nèi)常用兩種方法進行防護，一種是傳統(tǒng)的電鍍工藝在 鐵硼磁性材料表面鍍上鎳、鋅或錫、金等。這些涂層有時會影響磁性材料的表磁等特性，有的在鹽霧試驗時仍不能對釹鐵硼磁性材料提供有效的防護。另一種方法是用環(huán)氧樹脂材料進行電泳涂敷，但電泳涂敷時工件表面必須有一掛點，掛點的修補不僅費工費時，而且質(zhì)量難以保證，而Parylene涂層技術(shù)可控制涂層厚度進行無支點全涂敷防護。Parylene又是一種透氧、透水汽率非常低的高分子薄膜材料，Parylene涂敷稀土磁性材料的技術(shù)和產(chǎn)品，目前國外小型釹鐵硼稀土磁性材料都已采用Parylene進行防護。