陽極 為一中心有孔的金屬圓筒，處在陰極下方，當(dāng)陽極上加有 數(shù)十千伏或上百千伏的正高壓??加速電壓時(shí)，將對(duì)陰極受熱發(fā)射出來的自由電子產(chǎn)生強(qiáng)烈的引力作用，并使之從雜亂無章的狀態(tài)變?yōu)橛行虻亩ㄏ蜻\(yùn)動(dòng)， 同時(shí)把自由電子加速到一定的運(yùn)動(dòng)速度（與加速電壓有關(guān)，前面已經(jīng)討論過）， 形成一股束流射向陽極靶面。凡在軸心運(yùn)動(dòng)的電子束流，將穿過陽極中心的圓孔射出電子外，成為照射樣品的光源。

TEM系統(tǒng)由以下幾部分組成 

電子：發(fā)射電子，由陰極、柵極、陽極組成。陰極管發(fā)射的電子通過柵極上的小孔形成射線束，經(jīng)陽極電壓加速后射向聚光鏡，起到對(duì)電子束加速、加壓的作用。

聚光鏡：將電子束聚集，可用已控制照明強(qiáng)度和孔徑角。

樣品室：放置待觀察的樣品，并裝有傾轉(zhuǎn)臺(tái)，用以改變?cè)嚇拥慕嵌?，還有裝配加熱、冷卻等設(shè)備。

物鏡：為放大率很高的短距透鏡，作用是放大電子像。物鏡是決定透射電子顯微鏡分辨能力和成像質(zhì)量的關(guān)鍵。

中間鏡：為可變倍的弱透鏡，作用是對(duì)電子像進(jìn)行二次放大。通過調(diào)節(jié)中間鏡的電流，可選擇物體的像或電子衍射圖來進(jìn)行放大。

透射鏡：為高倍的強(qiáng)透鏡，用來放大中間像后在熒光屏上成像。此外還有二級(jí)真空泵來對(duì)樣品室抽真空、照相裝置用以記錄影像。

直接觀察大試樣的原始表面。它能夠直接觀察直徑100 mm，高50 mm，或更大尺寸的試樣，對(duì)試樣的形狀沒有任何限制，粗糙的表面也能觀察，復(fù)眼透射電鏡技術(shù)服務(wù)，這便免除了制備樣品的麻煩，而且能真實(shí)觀察試樣本身物質(zhì)成分不同的襯度（背反射電子象）。 

觀察厚試樣。其在觀察厚試樣時(shí)，能得到高的分辨率和真實(shí)的形貌。掃描電子顯微的分辨率介于光學(xué)顯微鏡和透射電子顯微鏡之間。但在對(duì)厚塊試樣的觀察進(jìn)行比較時(shí)，因?yàn)樵谕干潆娮语@微鏡中還要采用復(fù)膜方法，而復(fù)膜的分辨率通常只能達(dá)到10 nm，且觀察的不是試樣本身，因此，用掃描電子顯微鏡觀察厚塊試樣更有利，更能得到真實(shí)的試樣表面資料。

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