像素和束斑的匹配并非指束斑完全小于像素框，束斑可以看成是一個(gè)衍射波，中間呈類似高斯分布，只要半高寬和像素大致相等則視為匹配。而此時(shí)束斑的大小是大于像素的。

而且掃描電鏡是靠電子束的掃描運(yùn)動(dòng)，只要不同像素點(diǎn)覆蓋區(qū)域的電子產(chǎn)額能夠被探測(cè)器有效處理和區(qū)分，那電鏡圖片也就能區(qū)分。所以掃描電鏡是完全可分辨比束斑更小的細(xì)節(jié)的，而有點(diǎn)地方說掃描電鏡不能區(qū)分比束斑更小的說法是不夠嚴(yán)密的。束斑是單點(diǎn)像素1.3～2倍左右，都是匹配的條件。

掃描電鏡雖然是顯微鏡家族中的后起之秀，但由于其本身具有許多的優(yōu)點(diǎn)，發(fā)展速度是很快的。 

1 儀器分辨率較高，通過二次電子像能夠觀察試樣表面6nm左右的細(xì)節(jié)，采用LaB6電子，可以進(jìn)一步提高到3nm。 

2 儀器放大倍數(shù)變化范圍大，且能連續(xù)可調(diào)。因此可以根據(jù)需要選擇大小不同的視場(chǎng)進(jìn)行觀察，噬菌體透射電鏡檢測(cè)服務(wù)，同時(shí)在高放大倍數(shù)下也可獲得一般透射電鏡較難達(dá)到的高亮度的清晰圖像。

電子顯微鏡的工作是進(jìn)入微觀世界的工作。我們平常所說的微乎其微或微不足道的東西，在微觀世界中，這個(gè)微也就不稱其微，我們提出用納米作為顯微技術(shù)中的常用度量單位，即1nm=10-6mm。

掃描電鏡成像過程與電視成像過程有很多相似之處，而與透射電鏡的成像原理完全不同。透射電鏡是利用成像電磁透鏡一次成像，而掃描電鏡的成像則不需要成象透鏡，其圖象是按一定時(shí)間、空間順序逐點(diǎn)形成并在鏡體外顯像管上顯示。

二次電子成象是使用掃描電鏡所獲得的各種圖象中應(yīng)用泛，分辨本領(lǐng)的一種圖象。我們以二次電子成象為例來說明掃描電鏡成象的原理。

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