觀察試樣的各個區(qū)域的細節(jié)。試樣在樣品室中可動的范圍非常大。其他方式顯微鏡的工作距離通常只有2～3cm，故實際上只許可試樣在兩度空間內運動。但在掃描電子顯微鏡中則不同，由于工作距離大（可大于20 mm），淀粉掃描電鏡檢測技術服務，焦深大（比透射電子顯微鏡大10倍），樣品室的空間也大，因此，可以讓試樣在三度空間內有6個自由度運動（即三度空間平移，三度空間旋轉），且可動范圍大，這對觀察不規(guī)則形狀試樣的各個區(qū)域細節(jié)帶來極大的方便。

透射電子顯微鏡的成像原理可分為三種情況：

吸收像：當電子射到質量、密度大的樣品時，主要的成相作用是散射作用。樣品上質量厚度大的地方對電子的散射角大，通過的電子較少，像的亮度較暗。早期的透射電子顯微鏡都是基于這種原理。

衍射像：電子束被樣品衍射后，樣品不同位置的衍射波振幅分布對應于樣品中晶體各部分不同的衍射能力，當出現(xiàn)晶體缺陷時，缺陷部分的衍射能力與完整區(qū)域不同，從而使衍射波的振幅分布不均勻，反映出晶體缺陷的分布。

相位像：當樣品薄至100?以下時，電子可以穿過樣品，波的振幅變化可以忽略，成像來自于相位的變化。

透射電鏡的總體工作原理是：由電子發(fā)射出來的電子束，在真空通道中沿著鏡體光軸穿越聚光鏡，通過聚光鏡將之會聚成一束尖細、明亮而又均勻的光斑，照射在樣品室內的樣品上；透過樣品后的電子束攜帶有樣品內部的結構信息，樣品內致密處透過的電子量少，稀疏處透過的電子量多；經(jīng)過物鏡的會聚調焦和初級放大后，電子束進入下級的中間透鏡和、第2投影鏡進行綜合放大成像，終被放大了的電子影像投射在觀察室內的熒光屏板上；熒光屏將電子影像轉化為可見光影像以供使用者觀察。本節(jié)將分別對各系統(tǒng)中的主要結構和原理予以介紹。



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