掃描電子顯微鏡是一種多功能的儀器，具有很多優(yōu)越的性能，是用途為廣泛的一種儀器，它可以進(jìn)行如下基本分析： 

 (1)三維形貌的觀察和分析； 

(2)在觀察形貌的同時，進(jìn)行微區(qū)的成分分析。 

 ①觀察納米材料。所謂納米材料就是指組成材料的顆?；蛭⒕С叽缭?.1～100 nm范圍內(nèi)，在保持表面潔凈的條件下加壓成型而得到的固體材料。納米材料具有許多與晶態(tài)、非晶態(tài)不同的、的物理化學(xué)性質(zhì)。納米材料有著廣闊的發(fā)展前景，生物透射電鏡測試服務(wù)，將成為未來材料研究的***方向。掃描電子顯微鏡的一個重要特點就是具有很高的分辨率，現(xiàn)已廣泛用于觀察納米材料。

一般電鏡在第2聚光鏡中和物鏡中各裝有2組消像器，稱為聚光鏡消像散器和物鏡消像散器。聚光鏡產(chǎn)生的像散可從電子束斑的橢圓度上看出，它會造成成像面上亮度不均勻和限制分辨率的提高。調(diào)整聚光鏡消像散器（鏡體操作面板上裝有對應(yīng)可調(diào)旋鈕），使橢圓形光斑***到接近圓狀即可基本上消除聚光鏡中存在的像散。物鏡像散能在很大程度上影響成像質(zhì)量，消除起來也比較困難。通常使用放大鏡觀察樣品支持膜上小孔在欠焦時產(chǎn)生的費涅爾圓環(huán)的均勻度，或者使用專門的消像散標(biāo)本來調(diào)整消除，這需要一定的經(jīng)驗和操作技巧。在一些電鏡機(jī)型之中，開始出現(xiàn)了自動消像散和自動聚焦等新功能，為電鏡的使用和操作提供了極大的方便。

TEM系統(tǒng)由以下幾部分組成 

電子：發(fā)射電子，由陰極、柵極、陽極組成。陰極管發(fā)射的電子通過柵極上的小孔形成射線束，經(jīng)陽極電壓加速后射向聚光鏡，起到對電子束加速、加壓的作用。

聚光鏡：將電子束聚集，可用已控制照明強度和孔徑角。

樣品室：放置待觀察的樣品，并裝有傾轉(zhuǎn)臺，用以改變試樣的角度，還有裝配加熱、冷卻等設(shè)備。

物鏡：為放大率很高的短距透鏡，作用是放大電子像。物鏡是決定透射電子顯微鏡分辨能力和成像質(zhì)量的關(guān)鍵。

中間鏡：為可變倍的弱透鏡，作用是對電子像進(jìn)行二次放大。通過調(diào)節(jié)中間鏡的電流，可選擇物體的像或電子衍射圖來進(jìn)行放大。

透射鏡：為高倍的強透鏡，用來放大中間像后在熒光屏上成像。此外還有二級真空泵來對樣品室抽真空、照相裝置用以記錄影像。

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