早期電鏡中曾采用過機(jī)械式消像散器，利用手動機(jī)械裝置來調(diào)整電磁透鏡周圍的小磁鐵 組成的消像散器，來改變透鏡磁場分布的缺陷。但由于調(diào)整的性和使用的方便性均難令人滿意，這種方式已被淘汰。消像散器由圍繞光軸對稱環(huán)狀均勻分布的8個(gè)小電磁線圈構(gòu)成，用以消除（或減?。╇姶磐哥R因材料、加工、污染等因素造成的像散。其中每4個(gè)互相垂直的線圈為1組，在任一直徑方向上的2個(gè)線圈產(chǎn)生的磁場方向相反，用2組控制電路來分別調(diào)節(jié)這2組線圈中的直流電流的大小和方向，即能產(chǎn)生1個(gè)強(qiáng)度和方向可變的合成磁場，以補(bǔ)償透鏡中所原有的不均勻磁場缺陷（圖中橢圓形實(shí)線），以達(dá)到消除或降低軸上像散的效果。

透射電子顯微鏡的成像原理可分為三種情況：

吸收像：當(dāng)電子射到質(zhì)量、密度大的樣品時(shí)，主要的成相作用是散射作用。樣品上質(zhì)量厚度大的地方對電子的散射角大，通過的電子較少，像的亮度較暗。早期的透射電子顯微鏡都是基于這種原理。

衍射像：電子束被樣品衍射后，樣品不同位置的衍射波振幅分布對應(yīng)于樣品中晶體各部分不同的衍射能力，當(dāng)出現(xiàn)晶體缺陷時(shí)，缺陷部分的衍射能力與完整區(qū)域不同，從而使衍射波的振幅分布不均勻，復(fù)眼透射電鏡檢測服務(wù)，反映出晶體缺陷的分布。

相位像：當(dāng)樣品薄至100?以下時(shí)，電子可以穿過樣品，波的振幅變化可以忽略，成像來自于相位的變化。

電鏡鏡筒內(nèi)的電子束通道對真空度要求很高，電鏡工作必須保持在10-3～10Pa以上的真空度（的電鏡對真空度的要求更達(dá)10Pa以上），因?yàn)殓R筒中的殘留氣體分子如果與高速電子碰撞，就會產(chǎn)生電離放電和散射電子，從而引起電子束不穩(wěn)定，增加像差，污染樣品，并且殘留氣體將加速高熱燈絲的氧化，縮短燈絲壽命。獲得高真空是由各種真空泵來共同配合抽取的。機(jī)械泵（旋轉(zhuǎn)泵）機(jī)械泵因在其他場合使用非常廣泛而比較常見，它工作時(shí)是靠泵體內(nèi)的旋轉(zhuǎn)葉輪刮片將空氣吸入、壓縮、排放到外界的。機(jī)械泵的抽氣速度每分鐘僅為160L左右 ，工作能力也只能達(dá)到0.1～0.01Pa，遠(yuǎn)不能滿足電鏡鏡筒對真空度的要求，所以機(jī)械泵只做為真空系統(tǒng)的前級泵來使用。



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