分辨率是掃描電鏡基本的性能判斷指標，首先我們要弄清掃描電鏡分辨率的一些細節(jié)問題。

通常有關(guān)分辨率的問題，都會遵循瑞利判據(jù)。即一個光點按照衍射理論會是一個衍射斑，兩個光點逐步靠近時，對應(yīng)的衍射斑也從分離趨于重合。當兩個衍射斑的半高寬重疊，則認為不可區(qū)分了。此時兩個衍射斑之間的距離即為分辨率，。

但一般單幀圖像的儀器才完全符合此規(guī)律，比如TEM、光學(xué)顯微鏡等。掃描電鏡的分辨率以瑞利判據(jù)為基礎(chǔ)，但也卻略有不同。掃描電鏡是屬于電子束移動型的，并不完全適用半高寬重合的概念。

掃描電鏡的分辨率分為理論分辨率、驗收分辨率，和一般測試過程中能達到的分辨率。

由電子發(fā)射的電子束可達30keV，經(jīng)會聚透鏡、物鏡縮小和聚焦，在樣品表面形成一個具有一定能量、強度、斑點直徑的電子束。在掃描線圈的磁場作用下，入射電子束在樣品表面上按照一定的空間和時間順序做光柵式逐點掃描。由于入射電子與樣品之間的相互作用，將從樣品中激發(fā)出二次電子。由于二次電子收集極的作用，可將各個方向發(fā)射的二級電子匯集起來，再將加速極加速射到閃爍體上，轉(zhuǎn)變成光信號，經(jīng)過光導(dǎo)管到達光電倍增管，使光信號再轉(zhuǎn)變成電信號。這個電信號又經(jīng)視頻放大器放大并將其輸送至顯像管的柵極，調(diào)制顯像管的亮度。因而，再熒光屏上呈現(xiàn)一幅亮暗程度不同的、反映樣品表面形貌的二次電子象。

掃描電子顯微鏡是一種多功能的儀器，具有很多優(yōu)越的性能，是用途為廣泛的一種儀器，它可以進行如下基本分析： 

 (1)三維形貌的觀察和分析； 

(2)在觀察形貌的同時，進行微區(qū)的成分分析。 

 ①觀察納米材料。所謂納米材料就是指組成材料的顆?；蛭⒕С叽缭?.1～100 nm范圍內(nèi)，噬菌體透射電鏡技術(shù)服務(wù)，在保持表面潔凈的條件下加壓成型而得到的固體材料。納米材料具有許多與晶態(tài)、非晶態(tài)不同的、的物理化學(xué)性質(zhì)。納米材料有著廣闊的發(fā)展前景，將成為未來材料研究的***方向。掃描電子顯微鏡的一個重要特點就是具有很高的分辨率，現(xiàn)已廣泛用于觀察納米材料。

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