中間鏡（intemediate lens）和投影鏡（projection lens）

在物鏡下方，植物***電鏡檢測(cè)服務(wù)，依次設(shè)有中間鏡和投影鏡、第2投影鏡，以共同完成對(duì)物鏡成像的進(jìn)一步放大任務(wù)。從結(jié)構(gòu)上看，它們都是相類似的電磁透鏡，但由于各自的位置和作用不盡相同，故其工作參數(shù)、勵(lì)磁電流和焦距的長(zhǎng)短也不相同。電鏡總放大率：M=MO·MI·MP1·MP2即為物鏡、中間鏡和投影鏡的各自放大率之積。當(dāng)電鏡放大率在使用中需要變換時(shí)，就必須使它們的焦距長(zhǎng)短相應(yīng)做出變化，通常是改變靠中間鏡和投影鏡線圈的勵(lì)磁工作電流來(lái)達(dá)到的。電鏡操縱面板上放大率變換鈕即為控制中間鏡和投影鏡的電流之用。

對(duì)中間鏡和投影鏡這類放大成像透鏡的主要要求是：在盡可能縮短鏡筒高度的條件下，得到滿足高分辨率所需的高放大率，以及為尋找合適視野所需的低放大率；可以進(jìn)行電子衍射像分析，做選區(qū)衍射和小角度衍射等特殊觀察；同樣也希望它們的像差、畸變和軸上像散都盡可能地小。

電子束的掃描是根據(jù)放大倍數(shù)和采集像素大小而進(jìn)行了馬賽克的像素化，只要束斑縮小到和單點(diǎn)像素匹配就可以，束斑與束斑之間不會(huì)出現(xiàn)太多的重疊而導(dǎo)致分辨率下降。只有束斑與單點(diǎn)像素匹配后，再縮小束斑已經(jīng)沒(méi)有意義，不會(huì)帶來(lái)分辨率的提升，相反會(huì)引起信息的缺失。由此我們可以得到新的結(jié)論，雖然束斑越小理論分辨率越高，但是對(duì)于實(shí)際拍攝來(lái)說(shuō)，像素和束斑越匹配才是效果越好。



C1、C2的工作原理是通過(guò)改變聚光透鏡線圈中的電流，來(lái)達(dá)到改變透鏡所形成的磁場(chǎng)強(qiáng)度的變化，磁場(chǎng)強(qiáng)度的變化（亦即折射率發(fā)生變化）能使電子束的會(huì)聚點(diǎn)上下移動(dòng)，在樣品表面上電子束斑會(huì)聚得越小，能量越集中，亮度也越大；反之束斑發(fā)散，照射區(qū)域變大則亮度就減小。通過(guò)調(diào)整聚光鏡電流來(lái)改變照明亮度的方法，實(shí)際上是一個(gè)間接的調(diào)整方法，亮度的大值受到電子束流量的限制。如想更大程度上改變照明亮度，只有通調(diào)整前面提到的電子***中的柵極偏壓，才能從根本上改變電子束流的大小。在C2上通常 裝配有活動(dòng)光闌，用以改變光束照明的孔徑角，一方面可以限制投射在樣品表面的照明區(qū)域，使樣品上無(wú)需觀察的部分免受電子束的轟擊損傷；另一方面也能減少散射電子等不利信號(hào)帶來(lái)的影響。



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