C1、C2的工作原理是通過改變聚光透鏡線圈中的電流,來達(dá)到改變透鏡所形成的磁場強(qiáng)度的變化,磁場強(qiáng)度的變化(亦即折射率發(fā)生變化)能使電子束的會聚點(diǎn)上下移動,在樣品表面上電子束斑會聚得越小,能量越集中,亮度也越大;反之束斑發(fā)散,照射區(qū)域變大則亮度就減小。通過調(diào)整聚光鏡電流來改變照明亮度的方法,實(shí)際上是一個(gè)間接的調(diào)整方法,亮度的大值受到電子束流量的限制。如想更大程度上改變照明亮度,只有通調(diào)整前面提到的電子***中的柵極偏壓,才能從根本上改變電子束流的大小。在C2上通常 裝配有活動光闌,用以改變光束照明的孔徑角,一方面可以限制投射在樣品表面的照明區(qū)域,掃描電鏡EDS檢測技術(shù)服務(wù),使樣品上無需觀察的部分免受電子束的轟擊損傷;另一方面也能減少散射電子等不利信號帶來的影響。
掃描電子顯微鏡類型多樣,不同類型的掃描電子顯微鏡存在性能上的差異。根據(jù)電子種類可分為三種:場發(fā)射電子、鎢絲和六硼化鑭 。其中,場發(fā)射掃描電子顯微鏡根據(jù)光源性能可分為冷場發(fā)射掃描電子顯微鏡和熱場發(fā)射掃描電子顯微鏡。冷場發(fā)射掃描電子顯微鏡對真空條件要求高,束流不穩(wěn)定,發(fā)射體使用壽命短,需要定時(shí)對針尖進(jìn)行清洗,僅局限于單一的圖像觀察,應(yīng)用范圍有限;而熱場發(fā)射掃描電子顯微鏡不僅連續(xù)工作時(shí)間長,還能與多種附件搭配實(shí)現(xiàn)綜合分析。在地質(zhì)領(lǐng)域中,我們不僅需要對樣品進(jìn)行初步形貌觀察,還需要結(jié)合分析儀對樣品的其它性質(zhì)進(jìn)行分析,所以熱場發(fā)射掃描電子顯微鏡的應(yīng)用更為廣泛。
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