衍射圖樣的動態(tài)范圍通常非常大。對于晶體樣品，這個動態(tài)范圍通常超出了CCD所能記錄的大范圍。因此TEM通常裝備有膠卷暗盒以記錄這些圖像。對衍射圖樣點(diǎn)對點(diǎn)的分析非常復(fù)雜，這是由于圖像與樣品的厚度和方向、物鏡的失焦、球面像差和色差等等因素都有非常密切的關(guān)系。盡管可以對格點(diǎn)圖像對比度進(jìn)行定量的解釋，然而分析本質(zhì)上非常復(fù)雜，需要大量的計算機(jī)來計算。衍射平面還有更加復(fù)雜的表現(xiàn)，例如晶體格點(diǎn)的多次衍射造成的菊池線。在會聚電子束衍射技術(shù)中，會聚電子束在樣品表面形成一個極細(xì)的探針，從而產(chǎn)生了不平行的會聚波前，而匯聚電子束與樣品的作用可以提供樣品結(jié)構(gòu)以外的信息，例如樣品的厚度等等。
從試樣表面形貌獲得多方面資料。在掃描電子顯微鏡中，不僅可以利用入射電子和試樣相互作用產(chǎn)生各種信息來成象，而且可以通過信號處理方法，獲得多種圖象的特殊顯示方法，還可以從試樣的表面形貌獲得多方面資料。因為掃描電子象不是同時記錄的，它是分解為近百萬個逐次依此記錄構(gòu)成的，因而使得掃描電子顯微鏡除了觀察表面形貌外，還能進(jìn)行成分和元素的分析，以及通過電子通道花樣進(jìn)行結(jié)晶學(xué)分析，選區(qū)尺寸可以從10μm到2μm。
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