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高分辨率的圖像要求樣品盡量的薄,電子束的能量盡量的高。因此可以認為電子不會被樣品吸收,樣品也就無法改變電子波的振幅。由于在這種情況下樣品僅僅對波的相位造成影響,這樣的樣品被稱作純相位物體。純相位物體對波相位的影響遠遠超過對波振幅的影響,因此需要復雜的分析來得到觀察到的圖像強度。例如,為了增加圖像的對比度,透射電鏡三維重構技術服務,TEM需要稍稍離開聚焦位置一點。這是由于如果樣品不是一個相位物體,和TEM的對比度傳輸函數(shù)卷積以后將會降低圖像的對比度。
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透射電子顯微鏡(Tran***ission Electron Microscope,簡稱TEM),可以看到在光學顯微鏡下無法看清的小于0.2um的細微結構,這些結構稱為亞顯微結構或超微結構。要想看清這些結構,就必須選擇波長更短的光源,以提高顯微鏡的分辨率。1932年Ruska發(fā)明了以電子束為光源的透射電子顯微鏡,電子束的波長要比可見光和紫外光短得多,并且電子束的波長與發(fā)射電子束的電壓平方根成反比,也就是說電壓越高波長越短。TEM的分辨力可達0.2nm。
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