掃描電子顯微鏡是一種大型分析儀器，它廣泛應(yīng)用于觀察各種固態(tài)物質(zhì)的表面超微結(jié)構(gòu)的形態(tài)和組成。 所謂掃描是指在圖象上從左到右、從上到下依次對(duì)圖象象元掃掠的工作過(guò)程。它與電視一樣是由控制電子束偏轉(zhuǎn)的電子系統(tǒng)來(lái)完成的，只是在結(jié)構(gòu)和部件上稍有差異而已。在電子掃描中，把電子束從左到右方向的掃描運(yùn)動(dòng)叫做行掃描或稱(chēng)作水平掃描，把電子束從上到下方向的掃描運(yùn)動(dòng)叫做幀掃描或稱(chēng)作垂直掃描。兩者的掃描速度完全不同，行掃描的速度比幀掃描的速度快，對(duì)于1000條線的掃描圖象來(lái)說(shuō)，速度比為1000。
分辨率是掃描電鏡基本的性能判斷指標(biāo)，首先我們要弄清掃描電鏡分辨率的一些細(xì)節(jié)問(wèn)題。
通常有關(guān)分辨率的問(wèn)題，都會(huì)遵循瑞利判據(jù)。即一個(gè)光點(diǎn)按照衍射理論會(huì)是一個(gè)衍射斑，兩個(gè)光點(diǎn)逐步靠近時(shí)，對(duì)應(yīng)的衍射斑也從分離趨于重合。當(dāng)兩個(gè)衍射斑的半高寬重疊，則認(rèn)為不可區(qū)分了。此時(shí)兩個(gè)衍射斑之間的距離即為分辨率，。
但一般單幀圖像的儀器才完全符合此規(guī)律，比如TEM、光學(xué)顯微鏡等。掃描電鏡的分辨率以瑞利判據(jù)為基礎(chǔ)，透射電鏡連續(xù)切片三維重構(gòu)檢測(cè)技術(shù)服務(wù)，但也卻略有不同。掃描電鏡是屬于電子束移動(dòng)型的，并不完全適用半高寬重合的概念。
掃描電鏡的分辨率分為理論分辨率、驗(yàn)收分辨率，和一般測(cè)試過(guò)程中能達(dá)到的分辨率。
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