高分辨率的圖像要求樣品盡量的薄，電子束的能量盡量的高。因此可以認為電子不會被樣品吸收，樣品也就無法改變電子波的振幅。由于在這種情況下樣品僅僅對波的相位造成影響，這樣的樣品被稱作純相位物體。純相位物體對波相位的影響遠遠超過對波振幅的影響，因此需要復雜的分析來得到觀察到的圖像強度。例如，為了增加圖像的對比度，TEM需要稍稍離開聚焦位置一點。這是由于如果樣品不是一個相位物體，和TEM的對比度傳輸函數(shù)卷積以后將會降低圖像的對比度。

掃描電鏡雖然是顯微鏡家族中的后起之秀，但由于其本身具有許多的優(yōu)點，發(fā)展速度是很快的。 

1 儀器分辨率較高，通過二次電子像能夠觀察試樣表面6nm左右的細節(jié)，采用LaB6電子，可以進一步提高到3nm。 

2 儀器放大倍數(shù)變化范圍大，且能連續(xù)可調。因此可以根據(jù)需要選擇大小不同的視場進行觀察，同時在高放大倍數(shù)下也可獲得一般透射電鏡較難達到的高亮度的清晰圖像。

擴散泵的工作原理是用電爐將特種擴散泵油加熱至蒸汽　狀態(tài)，掃描電鏡EDS技術服務，高溫油蒸汽膨漲向上升起，靠油蒸汽吸附電鏡鏡體內的氣體，從噴嘴朝著擴散泵內壁射出，在環(huán)繞擴散泵外壁的冷卻水的強制降溫下，油蒸汽冷卻成液體時析出氣體排至泵外，由機械泵抽走氣體，油蒸汽冷卻成液體后靠重力回落到加熱電爐上的油槽里循環(huán)使用。擴散泵的抽氣速度很快，約為每秒鐘570L左右，工作能力也較強，可達10～10Pa。但它只能在氣體分子較稀薄時使用，這是由于氧氣成分較多時易 使高溫油蒸氣燃燒，所以擴散泵通常與機械泵串聯(lián)使用，在機械泵將鏡筒真空度抽到一定程度時，才啟動擴散泵。



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