





電子顯微鏡的工作是進(jìn)入微觀世界的工作。我們平常所說的微乎其微或微不足道的東西,在微觀世界中,這個微也就不稱其微,我們提出用納米作為顯微技術(shù)中的常用度量單位,即1nm=10-6mm。
掃描電鏡成像過程與電視成像過程有很多相似之處,而與透射電鏡的成像原理完全不同。透射電鏡是利用成像電磁透鏡一次成像,而掃描電鏡的成像則不需要成象透鏡,其圖象是按一定時間、空間順序逐點(diǎn)形成并在鏡體外顯像管上顯示。
二次電子成象是使用掃描電鏡所獲得的各種圖象中應(yīng)用泛,分辨本領(lǐng)的一種圖象。我們以二次電子成象為例來說明掃描電鏡成象的原理。
樣品室處在聚光鏡之下,內(nèi)有載放樣品的樣品臺。樣品臺必須能做水平面上X、Y方向的移動,以選擇、移動觀察視野,相對應(yīng)地配備了2個操縱桿或者旋轉(zhuǎn)手輪,這是一個精密的調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu),每一個操縱桿旋轉(zhuǎn)10圈時,樣品臺才能沿著某個方向移動3mm左右?,F(xiàn)代電鏡可配有由計算機(jī)控制的馬達(dá)驅(qū)動的樣品臺,力求樣品在移動時,固定時穩(wěn)定;并能由計算機(jī)對樣品做出標(biāo)簽式***標(biāo)記,以便使用者在需要做回顧性對照時依靠計算機(jī)***查找,這是在手動選區(qū)操作中很難實(shí)現(xiàn)的?!?br />

平時電鏡使用者都進(jìn)行常規(guī)樣品的觀察,常規(guī)樣品不像分辨率標(biāo)準(zhǔn)樣品那么理想,樣品比較復(fù)雜,而且有時候關(guān)注點(diǎn)并不相同。因此我們要根據(jù)樣品類型以及所關(guān)注的問題選擇合適的電鏡條件。
關(guān)注分辨率、襯度、景深、形貌的真實(shí)性、其它分析的需要等等,掃描電鏡能譜檢測服務(wù),不同的關(guān)注點(diǎn)之間需要不同的電鏡條件,有時甚至相互矛盾。因此我們必須明確拍攝目的,尋找適合的電鏡條件,而不是貿(mào)然的追求大倍數(shù)。
電鏡的工作條件包括很多,加速電壓、束流束斑、工作距離、光闌大小、明暗對比度、探測器的選擇等。本期將為大家介紹束流束斑的選擇。
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