






電鏡中加速電壓VA也是可調(diào)的,VA增大時,電子束的波長λ縮短,有利于電鏡分辨力的提高。同時穿透能力增強,對樣品的熱損傷小,但此時會由于電子束與樣品碰撞,導(dǎo)致彈性散射電子的散射角隨之增大,成像反差會因此而有所下降,所以,在不追求高分辨率觀察應(yīng)用時,選擇較低的加速電壓反而可以獲得較大的成像反差,尤其對于自身反差對比較小的生物樣品,植物抗性淀粉檢測服務(wù),選用較低的加速電壓有時是有利的。

可進行綜合分析。裝上波長色散X射線譜儀(WDX)或能量色散X射線譜儀(EDX),使具有電子探針的功能,也能檢測樣品發(fā)出的反射電子、X射線、陰極熒光、透射電子、俄歇電子等。把掃描電鏡擴大應(yīng)用到各種顯微的和微區(qū)的分析方式,顯示出了掃描電鏡的多功能。另外,還可以在觀察形貌圖象的同時,對樣品任選微區(qū)進行分析;裝上半導(dǎo)體試樣座附件,通過電動勢象放大器可以直接觀察晶體管或集成電路中的PN結(jié)和微觀缺陷。由于不少掃描電鏡電子探針實現(xiàn)了電子計算機自動和半自動控制,因而大大提高了定量分析的速度。

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