按感光樹脂的化學結(jié)構,光刻膠可分為光聚合型光刻膠、光分解型光刻膠和光交聯(lián)型光刻膠。在應用中,采用不同單體可以形成正、負圖案,并可在光刻過程中改變材料溶解性、抗蝕性等。
光聚合型光刻膠
烯類,NR9 1500PY光刻膠哪里有,在光作用下生成自由基,自由基再進一步引發(fā)單體聚合。
光分解型光刻膠
疊氮醌類化合物,經(jīng)光照后,會發(fā)生光分解反應,由油溶性變?yōu)樗苄浴?/p>
光交聯(lián)型光刻膠
聚乙烯醇月桂酸酯,在光的作用下,分子中的雙鍵打開,鏈與鏈之間發(fā)生交聯(lián),形成一種不溶性的網(wǎng)狀結(jié)構從而起到抗蝕作用。
按***波長,光刻膠可分為紫外(300~450 nm)光刻膠、深紫外(160~280 nm)光刻膠、極紫外(EUV,13.5 nm)光刻膠、電子束光刻膠、離子束光刻膠、X 射線光刻膠等。
按應用領域,光刻膠可分為PCB 光刻膠、LCD 光刻膠、半導體光刻膠等。PCB 光刻膠技術壁壘相對其他兩類較低,而半導體光刻膠代表著光刻膠技術的水平。
PR1-1000A1
NR9-3000PY 負性光刻膠
負膠 NR9-3000PY 被設計用于i 線(365 nm)***,NR9 1500PY光刻膠廠家,可使用如步進光刻、掃描投影式光刻、接近式光刻
和接觸式光刻等工具。
顯影之后,NR9-3000PY 展現(xiàn)出一種倒梯形側(cè)壁,這可以方便地作單純的LIFT-OFF 處理。
NR9-3000PY 相對于其他光刻膠具有如下優(yōu)勢:
- 優(yōu)異的分辨率性能
- 快速地顯影
- 可以通過調(diào)節(jié)***能量很容易地調(diào)節(jié)倒梯形側(cè)壁的角度
- 耐受溫度100℃
- 室溫儲存保質(zhì)期長達3 年
Lift-Off工藝
應用領域:LEDs,OLEDs,displays,MEMS,packaging,NR9 1500PY光刻膠,biochips。
濕法蝕刻,NR9 1500PY光刻膠價格,鍍 干法蝕刻(RIE/Ion Milling/Ion implantation)
附著力好Temperature resistance = 100°C 耐高溫Temperature resistance = 180°C
Resist Thickness NR9-3000PY 負性光刻膠
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nm)***,可使用如步進光刻、掃描投影式光刻、接近式光刻
和接觸式光刻等工具。
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5,顯影液
在已經(jīng)***的硅襯底膠面噴淋顯影液,或?qū)⑵浣菰陲@影液中,正膠是***區(qū)、而負膠是非***區(qū)的膠膜溶入顯影液,膠膜中的潛影顯現(xiàn)出來,形成三維圖像。
顯影完成后通常進行工藝線的顯影檢驗,通常是在顯微鏡下觀察顯影效果,顯影是否、光刻膠圖形是否完好。
影響顯影的效果主要因素:
1,***時間,2前烘溫度和時間,3光刻膠膜厚,4顯影液濃度溫度,5顯影液的攪動情況。
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