精密和超精密加工技術(shù)簡介

就***制造技術(shù)的技術(shù)實質(zhì)性而論，主要有精密和超精密加工技術(shù)與制造自動化兩大領(lǐng)域。前者包括了精密加工、超精密加工、微細(xì)加工，以及廣為流傳的納米加工，它追求加工上的精度和表面質(zhì)量的極限，可統(tǒng)稱為精密工程；尺寸和形位精度可用電子測微儀、電感測微儀、電容測微儀、自準(zhǔn)直儀和激光干涉儀來測量。后者包括了設(shè)計、制造和管理的自動化，它不僅是快速響應(yīng)市場需求、提高生產(chǎn)率、改善勞動條件的重要手段，而且是提高產(chǎn)品質(zhì)量的有效方式。兩者密切聯(lián)系，許多精密和超精密加工要靠自動化技術(shù)才能達(dá)到預(yù)期目標(biāo)，而不少制造自動化則有賴于精密加工才能達(dá)到設(shè)計要求。

制造業(yè)是國民經(jīng)濟的支柱產(chǎn)業(yè)，隨著制造業(yè)的快速發(fā)展，尤其是***制造技術(shù)的出現(xiàn)，新工藝、新加工方法不斷涌現(xiàn)。精密加工和超精密加工是***制造技術(shù)的重要支柱，也是提高制造技術(shù)水平的關(guān)鍵。當(dāng)前，在制造自動化領(lǐng)域，進(jìn)行了大量有關(guān)計算機輔助技術(shù)軟件CAD、CAPP、CAM的開發(fā)，計算機集成制造技術(shù)CIM、生產(chǎn)模式（如精良生產(chǎn)、敏捷制造、虛擬制造等），以及清潔生產(chǎn)和綠色制造等研究，代表了當(dāng)前制造技術(shù)的一個重要方面。但這絕非高新制造技術(shù)的全部，作為制造技術(shù)的主戰(zhàn)場，仍然要靠精密加工和超精密加工技術(shù)。與此同時，基于STM相似原理與結(jié)構(gòu)，相繼產(chǎn)生了一系列利用探針與樣品的不同相互作用來探測表面或界面在納米尺度上表現(xiàn)出來性質(zhì)的掃描探針顯微鏡(SPM)，用來獲取通過STM無法獲取的有關(guān)表面結(jié)構(gòu)和性質(zhì)的各種信息。