電容式位移傳感器尤其適合緩慢變化或微小量的測(cè)量，一般來(lái)說(shuō)采用電容式傳感器進(jìn)行檢測(cè)比較適宜。電容式位移傳感器的這些性能必然促使其應(yīng)用范圍越來(lái)越廣泛。當(dāng)被測(cè)物的振動(dòng)導(dǎo)致與其固連的傳感器基座振動(dòng)時(shí)，質(zhì)量塊將由于慣性而保持靜止，因此上、下固定電極與質(zhì)量塊之間將會(huì)產(chǎn)生相對(duì)位移。主要用于解決壓電微位移、振動(dòng)臺(tái)，電子顯微鏡微調(diào)，天文望遠(yuǎn)鏡鏡片微調(diào)，精密微位移測(cè)量等測(cè)量問(wèn)題。

優(yōu)點(diǎn)：具有一般非接觸式儀器所共有的無(wú)磨擦、無(wú)損磨和無(wú)惰性特點(diǎn)外，還具有信噪比大，靈敏度高，零漂小，頻響寬，非線(xiàn)性小，精度穩(wěn)定性好，抗電磁干擾能力強(qiáng)和使用操作方便等優(yōu)點(diǎn)。

電容位移傳感器是一種非接觸電容式原理的精密測(cè)量?jī)x器，具有一般非接觸式儀器所共有的無(wú)磨擦、無(wú)損磨特點(diǎn)外，還具有信噪比大，靈敏度高，零漂小，頻響寬，非線(xiàn)性小，精度穩(wěn)定性好，抗電磁干擾能力強(qiáng)和使用操作方便等優(yōu)點(diǎn)。

電容的兩極分別是傳感器和與之相對(duì)的被測(cè)物體。如果有穩(wěn)定交流電通過(guò)傳感器，輸出交流電的電壓會(huì)與傳感器到被測(cè)物體之間的距離成正比關(guān)系，從而可以通過(guò)測(cè)量電壓的變化得到距離信息。

電容傳感器是一種通過(guò)簡(jiǎn)單的機(jī)械結(jié)構(gòu)就能實(shí)現(xiàn)低功耗、良好的動(dòng)態(tài)性能以及非接觸式測(cè)量等特點(diǎn)的傳感器。電容傳感器能有效檢測(cè)到微米級(jí)的位移變化，具有非常高的精度，應(yīng)用前景廣泛。目前主要廣泛應(yīng)用于災(zāi)害監(jiān)測(cè)、航空航天及工業(yè)生產(chǎn)中對(duì)微小位移、液位、壓力、重力等參數(shù)的測(cè)量。針對(duì)控制棒落棒時(shí)棒位指示傳感器的電容和位移關(guān)系，在水平位置下，在4種不同的工況下將控制棒數(shù)據(jù)進(jìn)行標(biāo)定，對(duì)標(biāo)定得到的電容值取值和值的二分之一作為擬合值，分別采用三次樣條插值、二乘法、BP***網(wǎng)絡(luò)的方法對(duì)數(shù)據(jù)進(jìn)行擬合，然后使用4種工況下得到的原始數(shù)據(jù)進(jìn)行插值觀(guān)察誤差并做殘差分析。因此可以說(shuō)沒(méi)有眾多的優(yōu)良的位移激光傳感器現(xiàn)代化產(chǎn)業(yè)出產(chǎn)也就失去了基礎(chǔ)。MATLAB擬合結(jié)果表明，三次樣條插值具有良好的效果。