高純液態(tài)氣是指純度等于或高于99.999%的液態(tài)氣,是一種惰性稀有氣體,工業(yè)氣體配送站,常被用作保護(hù)氣應(yīng)用于不銹鋼、冶金、機(jī)械加工、電子半導(dǎo)體、航空航天、光伏行業(yè)等許多領(lǐng)域。不銹鋼和光伏產(chǎn)業(yè)目前是高純液態(tài)氣主要的應(yīng)用領(lǐng)域,其行業(yè)發(fā)展?fàn)顩r將會(huì)直接影響到高純氣的市場(chǎng)需求。2017年,中國不銹鋼產(chǎn)量為2580萬噸,較上年增長4.7%;2017年我國多晶硅產(chǎn)量24.2萬噸,同比增長24.7%;硅片產(chǎn)量87GW,同比增長34.3%;電池片產(chǎn)量68GW,同比增長33.3%;組件產(chǎn)量76GW,工業(yè)氣體供應(yīng)站,同比增長31.7%。不銹鋼和光伏產(chǎn)業(yè)發(fā)展速度的提升使得2017年我國高純液態(tài)氣的需求增速出現(xiàn)明顯上漲,巢湖工業(yè)氣體,達(dá)到了9.7%,需求量為53.31萬噸。
氦氣提純循環(huán)設(shè)備常用方法是低溫,冷凝法。此外,在設(shè)備研制過程中還采用了大量低溫領(lǐng)域的新技術(shù),包括高壓氦氣壓縮機(jī)的減振、耐低溫高壓紫銅管道特種焊接技術(shù)、低溫高壓活接密封技術(shù)等,以優(yōu)化產(chǎn)品。在此基礎(chǔ)上,通過在膜分離法提純技術(shù)上取得突破,通過復(fù)合提純分離方法,將純度≥10%的低純氦氣提純至99.5%以上,系統(tǒng)純化回收率≥60%。
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