什么是高純氣體
高純氣體系指氣體中含較少雜質(zhì)氣氛(純度),微量水份(干燥度)污染物粒子的婁量保持在低限度,其粒度也應是小的(潔凈度)。因此,對于高純氣體,工業(yè)氣體配送站,純度、干燥度、潔凈是三項重要的標度。特別是近10年來,工業(yè)氣體檢測,隨著更復雜、更密集的大規(guī)模和超大規(guī)模集成電路的生產(chǎn),對高純氣體潔凈度的要求,其重要程度已不亞于對純度和干燥度有嚴格要求的用氣工藝,無一不對其中的粒子提
標準氣體是帶有證書的具有計量溯源性的一種或多種準確特性量值,用于校準儀器,評價測量方法或給物質(zhì)賦值的氣體。在規(guī)定的時間間隔和環(huán)境條件下,標準氣體的特性量值保持在規(guī)定的范圍內(nèi)的特性、標準氣體的穩(wěn)定性表現(xiàn)在氣體對氣瓶和閥門不產(chǎn)生吸附和反應,氣體組分之間不發(fā)生化學反應。均勻性是物質(zhì)的一種或幾種特性具有相同組分或相同結(jié)構(gòu)的狀態(tài)、標準氣體的均勻性表現(xiàn)在不同溫度和壓力下各組分的特性量值在規(guī)定的范圍內(nèi)。氣體組分不分層,無液化。
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