Elitesonic干式超聲波清洗除塵裝置

• 處理方式: 通過高壓震蕩風吹出把工作物表面粉塵吹離工件表面,再利用負壓風同時帶離表面,造成無接觸式除塵,是一種非常安全清潔的干式去除粉塵設備。
• 需要去除的產(chǎn)品表面的污染物類型及大小：主要是干燥的顆粒浮塵，大小約為 3μm 及以上。

（速度 30～300mm/S 時去除率 ≥99%）

• 主要應用：液晶屏類；邦定前工件處理；電池薄膜及其它薄膜類；
• 工作尺寸：點狀或長度L=20-500mm （超過500mm亦可訂制）
• 清洗面：單面或雙面
• 外部環(huán)境 1000 級潔凈室
• 工件傳輸方式：

1）通過機械臂真空吸盤移動工件；兩臺機械臂接駁完成干式超聲波雙面除塵。

2）模組真空吸盤移動工件干式超聲波單面除塵
3）滾輪傳動方式，上下兩面干式超聲波雙面除塵

干式清洗特點：
1、3μm及以上的非濕粘附性粉塵能90-100%去除。
2、干式清洗不需要更換換水或藥液，洗后不用干燥，降低運行成本。
3、非接觸式系統(tǒng)不會污染基板及損傷基板表面膜。
4、由於清洗機是閉環(huán)循環(huán)系統(tǒng)，不會污染潔凈房。

主要規(guī)格：

工件邦定前干式超聲波清洗除塵（點狀處理）

液晶屏干式超聲波清洗除塵（線狀處理）