1.1、設(shè)備名稱：全自動(dòng)兆聲波清洗機(jī)
1.2、設(shè)備型號(hào)：AQS-4500
1.3、型式：由自動(dòng)清洗干燥工件
1.4、用途：清洗與干燥工件
1.5、生產(chǎn)能力： 10—60分鐘/每籃（由工藝定）
1.6、總體外形尺寸：長L3600×寬W1000×***1900mm
1.7、工藝流程：
1#超聲噴淋水洗→2#兆聲噴淋水洗→3#移動(dòng)切水→ （水洗）
4#超聲噴淋堿洗→5#兆聲噴淋堿洗→6#移動(dòng)切水→ （堿洗）
7#兆聲噴淋純水洗→8#移動(dòng)切水 → （純水）
1.8、噴淋式兆聲波系統(tǒng)
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說明： ■ 本裝置***主要的功能是產(chǎn)生兆聲波。使水分子以105G的加速度振動(dòng),去除物體表面小于0.2μm的微小顆粒。 ■ Si圓片、GaAs的清洗,液晶玻璃及其他玻璃面罩的清洗. ■ 硬盤清洗、平板玻璃、半導(dǎo)體組件、薄膜磁頭等脆性材料等的超精密清洗. ■ 采用兆聲清洗法可以減少***和提高純水的用量,在不***晶圓表面特征的前提下,提高對(duì)亞微細(xì)顆粒及各種污染物的去除能力及生產(chǎn)效率. ■ 主要配置： 1.振板尺寸：L559×W100×H76mm 2.槽體結(jié)構(gòu)：內(nèi)槽采用SUS316L T2.0不銹鋼板制作加工,圓角處理.內(nèi)槽與液體接觸部分均鏡面拋光處理. 3.兆聲波發(fā)生器： 1) 配發(fā)生器1臺(tái),電源220V 9.5A。 2) 頻率：950KHz-1MHz 3) 功率：900W 4) 尺寸：460ｘ500ｘ143mm 5) 重量：25kg 6) 顯示：7字段 3位數(shù) LED 7) 上下限判定功能 8) 振蕩狀態(tài)顯示實(shí)行上下限異常顯示功能 9) 可外接遠(yuǎn)程控制系統(tǒng),遙控操作工藝流程 10) 過熱安全保護(hù)系統(tǒng) 11) 過流安全保護(hù)系統(tǒng) 12) 鎖相環(huán)路頻率自動(dòng)跟蹤（在不同的溫度、載荷和液面高度的情況下,使功率輸出***優(yōu)化） |
1.8、動(dòng)力供給、排放
供給：
1）電源：3ФAC380V 50Hz 30KVA
2）壓縮空氣：3-5kg/cm2 500NL/min
3）工水：20℃-28℃ 1-3kg/cm2
4）DI純水：20℃-28℃ 1-3kg/cm2 500L/H
排放：1）一般廢水 2）一般排氣