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材料 Material |
高純度Al2O3單晶 純度≥99.996% High purity Al2O3single crystal purity≥99.996% |
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晶向 Orientation |
A/M |
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C/R |
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直徑 Di***eter |
76.2 &plu***n;0.1mm |
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厚度 Thickness |
430&plu***n;10μm，500um&plu***n;10μm可定制 |
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TTV |
＜5μm |
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WRAP |
＜2μm |
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BOW |
＜5μm |
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*** Primary Flat Location |
A-axis &plu***n; 0.2° |
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正面 Front Surface |
拋光 |
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背面 Backside |
腐蝕/拋光 |
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表面粗糙度（Ra)Surface Roughness |
＜0.2nm |
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包裝 Package |
***無塵室，氮保護氣氛。25片盒裝 Clean Room, Nitrogen Atmosphere. 25 wafers cassette |
上海晶合電子材料有限公司
普通會員第12年
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公司主營：硅片 藍寶石片 鍺片 石英片 藍寶石晶片