MFC-T型氣體質(zhì)量流量控制器 氣體質(zhì)量流量控制器（MFC，Mass Flow Controller），是現(xiàn)代電子設(shè)備工藝氣體流量控制的必不可少的控制單元。 氣體質(zhì)量流量控制器的原理和應(yīng)用質(zhì)量流量控制器用于對各種氣體的質(zhì)量流量進(jìn)行精密測量和控制，大量用于電子工藝設(shè)備（如擴(kuò)散、氧化、外延、ＣＶＤ、等離子刻蝕、濺射等）以及鍍膜設(shè)備、光導(dǎo)纖維制造中；并廣泛用于石油化工、冶金、制藥等行業(yè)。它通常由流量傳感器、流量調(diào)節(jié)閥、放大控制器和分流器通道等組成。它的工作電源及流量顯示和設(shè)定等操作由與其配套的流量顯示電源盒提供。流量傳感器采用毛細(xì)管傳熱溫差量熱法原理測量流過氣體的質(zhì)量流量，具有溫度、壓力囪動(dòng)補(bǔ)償特性。 產(chǎn)品功能和特點(diǎn)： 超快響應(yīng)速度 <200 mS【常規(guī) >1-2S】 ***高三年質(zhì)保 技術(shù)參數(shù)： 1.量程：20/50/100/250/500/1000 sccm 2.氣體類型：非腐蝕性氣體 e.g. N2, O2, Air, CO2, Ar, He, H2 3.測量精度： N2, 25°C, 1 bar: ≤ ± 0.5 % F.S. 對于 0...10% F.S. ≤ ± 2 % O.R. 對于 10...100% F.S. 4.長期穩(wěn)定性：± 0.25 % F.S. /年 5.工作溫度：0-50 ºC 6.氣體壓力：0.5-3 Bar 7.輸入輸出：0…5 V 8.氣管接頭：¼ 不銹鋼卡套 9.漏率：Helium Leak check <10-10 mbar l/s 10.電源：+12-24V 11.響應(yīng)時(shí)間：<200 ms 詳細(xì)信息請咨詢我們。