薄膜應力測試儀 薄膜應力測試儀，又名薄膜殘余應力測試儀或薄膜應力儀，是專門用于測試和研究薄膜材料和薄膜制備工藝的必不可少的工具。 薄膜中應力的大小和分布對薄膜的結構和性質有重要的影響, 可導致薄膜的光、電、磁、機械性能改變. 例如, 薄膜中的應力是導致膜開裂或與基體剝離的主要因素, 薄膜中存在的殘余應力很多情況下影響MEMS 器件結構的特性, 甚至嚴重劣化器件的性能, 薄膜的內應力對薄膜電子器件和薄膜傳感器的性能有很大的影響.因此, 薄膜應力研究在薄膜基礎理論和應用研究中起到重要的作用, 薄膜應力的測量備受關注。再例如在硬質薄膜領域，金屬氮化物、氧化物、碳化物等硬質薄膜因具有優(yōu)越的耐磨、耐腐蝕等特性，被廣泛應用于金屬材料的防護．硬質薄膜的主要制備方法包括物***相沉積和化學氣相沉積技術．研究發(fā)現(xiàn)，沉積態(tài)硬質薄膜中存在較大的殘余應力，而且沿層深分布不均勻；該殘余應力對硬質薄膜一基體系統(tǒng)的性能影響很大-lJ_***地測量硬質薄膜的殘余應力，系統(tǒng)研究它與沉積工藝的關系，對優(yōu)化硬質薄膜基體系統(tǒng)的性能具有重要的意義． 本公司提供的薄膜應力測試儀采用優(yōu)化的光杠桿的原理，根據(jù)我們科研工作者長期的扎實的理論研究和實際工藝探索，研制的一套適用于各種薄膜應力測試的裝置。近年來，經(jīng)過國內知名院校和科研單位的實際使用和驗證，該儀器具有良好的重復性和準確性，是一款廣泛應用于各領域薄膜制備和材料研究的高性價比的儀器。 產(chǎn)品功能和特點： 自動采集分析數(shù)據(jù)功能； 自動掃查樣品邊緣，***樣品中心； 自動計算出曲率半徑值和薄膜應力值； 對原始表面不平直的基片表面的薄膜，可采取原位測量的方式，計算薄膜應力值。 技術參數(shù)： 1.原理：曲率法Stoney公式 2.薄膜應力測量范圍：1×10-2GPa到1×102GPa； 3.曲率半徑測試范圍：0.3-60m 4.曲率半徑測試誤差：﹤±1% 5.薄膜應力計算誤差：﹤±2.5% 6.測試平臺行程：100mm 7.控制：***PC及控制軟件 8.儀器尺寸：1500x1500x430mm 詳細信息請咨詢我們。