R14制冷劑,別名R14、氟利昂14、PFC-14,商品名稱有Freon 14等,中文名稱四氟化碳、四氟***,英文名稱Carbon Tetrafluoride or Tetrafluoromethane,分子式CF4。R-14屬于FC類物質——對臭氧層沒有***、但存在溫室效應;目前對于R14制冷劑的生產(chǎn)、銷售以及在新制冷設備上的初裝、***設備上的再添加均沒有限制。R-14作為一款特種超低溫制冷劑,主要應用于要求溫度非常低的深冷設備中(包括科研制冷、***制冷等),R14同時也是超低溫配合冷媒的重要組分。四氟化碳(四氟***)是目前微電子工業(yè)中用量***大的等離子蝕刻氣體,其高純氣及四氟***高純氣配高純氧氣的混合氣,可廣泛應用于硅、二氧化硅、氮化硅、磷硅玻璃及鎢等薄膜材料的蝕刻,在電子器件表面清洗、太陽能電池的生產(chǎn)、激光技術、氣相絕緣、泄漏檢驗劑、印刷電路生產(chǎn)中的去污劑等方面也大量使用。
氣體純度:R14>99.999%,氮氣< 5 ppm,氧氣< 2 ppm,總烴< 1 ppm,***< 1 ppm,二氧化碳< 1 ppm,水< 2 ppm,
氣體包裝:40L鋼瓶,30kg/瓶,32kg/瓶。閥門型號:CGA660,或CGA580、CGA590。或按客戶要求。
R14儲存、運輸R14制冷劑鋼瓶為高壓容器,儲存時應遠離火種、熱源、避免陽光直接曝曬,通常儲放于陰涼、干燥和通風的倉庫內(nèi);搬運時R14時應輕裝、輕卸,防止鋼瓶以及閥門等附件破損。