R14制冷劑，別名R14、氟利昂14、PFC-14，商品名稱有Freon 14等，中文名稱四氟化碳、四氟***，英文名稱Carbon Tetrafluoride or Tetrafluoromethane，分子式CF4。R-14屬于FC類物質(zhì)——對(duì)臭氧層沒(méi)有***、但存在溫室效應(yīng)；目前對(duì)于R14制冷劑的生產(chǎn)、銷售以及在新制冷設(shè)備上的初裝、***設(shè)備上的再添加均沒(méi)有限制。R-14作為一款特種超低溫制冷劑，主要應(yīng)用于要求溫度非常低的深冷設(shè)備中（包括科研制冷、***制冷等），R14同時(shí)也是超低溫配合冷媒的重要組分。四氟化碳（四氟***）是目前微電子工業(yè)中用量***大的等離子蝕刻氣體，其高純氣及四氟***高純氣配高純氧氣的混合氣，可廣泛應(yīng)用于硅、二氧化硅、氮化硅、磷硅玻璃及鎢等薄膜材料的蝕刻，在電子器件表面清洗、太陽(yáng)能電池的生產(chǎn)、激光技術(shù)、氣相絕緣、泄漏檢驗(yàn)劑、印刷電路生產(chǎn)中的去污劑等方面也大量使用。
氣體純度:R14>99.999%,氮?dú)?lt; 5 ppm，氧氣< 2 ppm，總烴< 1 ppm，***< 1 ppm，二氧化碳< 1 ppm，水< 2 ppm，
氣體包裝:40L鋼瓶,30kg/瓶,32kg/瓶。閥門(mén)型號(hào)：CGA660，或CGA580、CGA590?；虬纯蛻粢?。
R14儲(chǔ)存、運(yùn)輸R14制冷劑鋼瓶為高壓容器，儲(chǔ)存時(shí)應(yīng)遠(yuǎn)離火種、熱源、避免陽(yáng)光直接曝曬，通常儲(chǔ)放于陰涼、干燥和通風(fēng)的倉(cāng)庫(kù)內(nèi)；搬運(yùn)時(shí)R14時(shí)應(yīng)輕裝、輕卸，防止鋼瓶以及閥門(mén)等附件破損。