四氟化碳、四氟甲烷、CF4、R14
物理化學(xué)性質(zhì)
四氟甲烷（Carbon Tetrafluoride or Tetrafluoromethane ），亦稱全氟化碳，四氟化碳，PFC-14（R14）。分子式：CF4。相對分子量：88.00。在常溫下，四氟化碳是無色、無臭、不燃，不溶于水的可壓縮性氣體。沸點(diǎn)：-128℃，熔點(diǎn)：-183.6℃。液體密度（-130℃）1.613g/cm3，臨界溫度-45.67℃，臨界壓力3.74MPa，蒸氣壓（-150.7℃）13.33kPa，介電常數(shù)（25℃，0.5MPa）1.0006。揮發(fā)性較高，是最穩(wěn)定的有機(jī)化合物之一，在900攝氏度時，不與鋼、鎳、鎢、鉬反應(yīng)，僅在碳弧溫度下緩慢分解，微溶于水，在25攝氏度及0.1MPa下其溶解度為0.0015％（重量比），然而與可燃性氣體燃燒時， 會分解產(chǎn)生有毒氟化物，屬于危險性類別為第2.2類不燃?xì)怏w。
氣體純度:四氟甲烷>99.999%,氮?dú)?lt; 5 ppm，氧氣< 2 ppm，總烴< 1 ppm，一氧化碳< 1 ppm，二氧化碳< 1 ppm，水< 2 ppm，
氣體包裝:40L鋼瓶,30kg/瓶,32kg/瓶。閥門型號：CGA660，或CGA580、CGA590?；虬纯蛻粢蟆?br /> 用途：四氟甲烷是目前微電子工業(yè)中用量最大的等離子蝕刻氣體，其高純氣及四氟化碳高純氣配高純氧氣的混合氣，可廣泛應(yīng)用于硅、二氧化硅、氮化硅、磷硅玻璃及鎢等薄膜材料的蝕刻，在電子器件表面清洗、太陽能電池的生產(chǎn)、激光技術(shù)、氣相絕緣、超低溫制冷劑、泄漏檢驗(yàn)劑、印刷電路生產(chǎn)中的去污劑等方面也大量使用。
包裝運(yùn)輸：四氟化碳（四氟甲烷）對金屬、合金不腐蝕，可用無縫鋼瓶和鋁合金容器裝運(yùn)，充瓶壓力通常低于12.5MPa，按壓縮氣體運(yùn)輸，鋼瓶每五年檢驗(yàn)一次，國外規(guī)定可用汽車、火車、輪船和飛機(jī)運(yùn)輸，國內(nèi)目前無規(guī)定。