拋光墊又稱拋光皮，拋光布，拋光片，化學(xué)機(jī)械拋光中決定表面質(zhì)量的重要輔料。

分類

按是否含有磨料可以分為有磨料拋光墊和無磨料拋光墊; 按材質(zhì)的不同可以分為聚氨酯拋光墊、無紡布拋光墊和復(fù)合型拋光墊; 按表面結(jié)構(gòu)的不同大致可分為平面型、網(wǎng)格型和螺旋線型。

作用

①把拋光液有效均勻地輸送到拋光墊的不同區(qū)域；

②將拋光后便化學(xué)反應(yīng)充分進(jìn)行;的反應(yīng)物、碎屑等順利排出，拋光皮廠商，達(dá)到去除效果；

③維持拋光墊表面的拋光液薄膜， 以便化學(xué)反應(yīng)充分進(jìn)行；

④保持拋光過程的平穩(wěn)、表面不變形，拋光皮批發(fā)， 以便獲得較好的晶片表面形貌；

在薄化產(chǎn)業(yè)中我們常用的是聚氨酯氧化***拋光墊對需蝕刻減薄的液晶面板和玻璃產(chǎn)品進(jìn)行研磨拋光加工。目前專門針對減薄拋光的面板和玻璃的拋光墊應(yīng)用研究不多，本文結(jié)合對現(xiàn)在已知拋光墊在晶片和玻璃產(chǎn)品使用情況知識參考，

使用聚氨酯氧化***拋光墊的原因概述

我們所知在對液晶面板或平板玻璃進(jìn)行拋光主要是去除面板或玻璃在蝕刻前后的凹凸點(diǎn)、臟污和劃傷等表面不良以及輔助蝕刻減少拋光產(chǎn)品的表面部分厚度，使液晶面板或平板玻璃達(dá)到相應(yīng)減薄要求和表面光潔的效果。

拋光墊表面溝槽的傾斜角分為正、負(fù)兩種， 不同的傾斜角會對拋光效率及加工區(qū)域溫度產(chǎn)生重要影響。利用所示的三種不同傾斜角度的圓環(huán)型溝槽拋光墊進(jìn)行拋光實(shí)驗(yàn)發(fā)現(xiàn)，拋光皮，溝槽傾斜角為20度的拋光墊的拋光效率和加工區(qū)域溫度高，機(jī)械卻除速率較高。

其原因是在pV值（壓力轉(zhuǎn)速的乘積）相等的情況下，拋光過程中的氧化系數(shù)與機(jī)械去除系數(shù)能較好匹配，使得氧化過程和機(jī)械去除過程的速率基本達(dá)到平衡。而對于另外兩種拋光墊，拋光皮批發(fā)商，機(jī)械去除速率相對較小，拋光效率會受到機(jī)械去除過程的限制，特別是當(dāng)pV值比較小的時候，更加明顯。