拋光墊又稱拋光皮，拋光皮銷售，拋光布，拋光片，拋光皮，化學(xué)機(jī)械拋光中決定表面質(zhì)量的重要輔料。

分類

按是否含有磨料可以分為有磨料拋光墊和無磨料拋光墊; 按材質(zhì)的不同可以分為聚氨酯拋光墊、無紡布拋光墊和復(fù)合型拋光墊; 按表面結(jié)構(gòu)的不同大致可分為平面型、網(wǎng)格型和螺旋線型。

作用

①把拋光液有效均勻地輸送到拋光墊的不同區(qū)域；

②將拋光后便化學(xué)反應(yīng)充分進(jìn)行;的反應(yīng)物、碎屑等順利排出，達(dá)到去除效果；

③維持拋光墊表面的拋光液薄膜， 以便化學(xué)反應(yīng)充分進(jìn)行；

④保持拋光過程的平穩(wěn)、表面不變形， 以便獲得較好的晶片表面形貌；

溝槽的形式對拋光因素的影響

拋光溫度

不同的溝槽形狀會影響溫度及熱分布。實(shí)驗(yàn)表明，拋光皮批發(fā)價，在相同條件下，相對于無溝槽的拋光墊，使用圓環(huán)型溝槽拋光墊拋光時，溝槽的存在會影響熱量的徑向傳輸及分散，拋光墊和拋光產(chǎn)品的溫度均略有提高。而其它溝槽形狀的拋光墊，具有較強(qiáng)的運(yùn)送拋光液能力，所以會對溫度及熱應(yīng)力分布產(chǎn)生更大的影響。

在CMP中，拋光皮具有以下功能:

(1)能貯存拋光液，并把它運(yùn)送到工件的整個加工區(qū)域，使拋光均勻;

(2)從工件拋光表面除去拋光過程產(chǎn)生的殘留物質(zhì)(如拋光碎屑、拋光墊碎片等);

(3)傳遞材料去除所需的機(jī)械載荷;

(4)維持拋光過程所需的機(jī)械和化學(xué)環(huán)境。拋光皮性能主要由拋光皮的材料種類、材料性能、表面結(jié)構(gòu)和狀態(tài)等決定。