用于電子半導(dǎo)體器件、電子計算機、電子通訊設(shè)備和集成電路等微電子工業(yè)的生產(chǎn)車間和***試驗室為消除靜電危害,均需鋪設(shè)防靜電臺墊或?qū)щ姷貕|,當(dāng)防靜電臺墊(地墊)鋪好并接地后,工作面將泄放***靜電,使***與臺面接觸的ESD鑷子、工具、儀表等達到基本均一的電位,使靜電敏感器件(SSD)不受磨擦起電等靜電放電現(xiàn)象產(chǎn)生的寬步面帶的干擾,從而達到靜電防護的效果。
防靜電臺墊主要用抗(導(dǎo))靜電材料和耗散靜電材料合成橡膠等制作而成. 表面層為約0.5mm厚的耗散靜電層,底層為約1.5mm厚的導(dǎo)電層