用于電子半導(dǎo)體器件、電子計(jì)算機(jī)、電子通訊設(shè)備和集成電路等微電子工業(yè)的生產(chǎn)車間和***試驗(yàn)室為消除靜電危害,均需鋪設(shè)防靜電臺(tái)墊或?qū)щ姷貕|,當(dāng)防靜電臺(tái)墊(地墊)鋪好并接地后,工作面將泄放***靜電,使***與臺(tái)面接觸的ESD鑷子、工具、儀表等達(dá)到基本均一的電位,使靜電敏感器件(SSD)不受磨擦起電等靜電放電現(xiàn)象產(chǎn)生的寬步面帶的干擾,從而達(dá)到靜電防護(hù)的效果。
防靜電臺(tái)墊主要用抗(導(dǎo))靜電材料和耗散靜電材料合成橡膠等制作而成. 表面層為約0.5mm厚的耗散靜電層,底層為約1.5mm厚的導(dǎo)電層。
技術(shù)參數(shù)
表面電阻:10^6-10^9Ω
底層電阻:10^3-10^5Ω
體積電阻:10^5-10^8Ω
磨耗率: < 0.02g/cm^2
靜電散除時(shí)間:< 0.5s
常用規(guī)格:
表面處理:亞光/光面(亮光)
尺寸(長×寬):10×1.2m、10×1.0m、10×0.9m、10×0.8m、10×0.6m
顏色:綠色/黑色、蘭色/黑色、***/黑色