設(shè)備性能
半導(dǎo)體激光劃片機(jī)采用半導(dǎo)體泵浦激光器,一體化程度更高、光束質(zhì)量更好、運(yùn)行成本更低、免維護(hù)時(shí)間更長(zhǎng);
關(guān)鍵部件均采用進(jìn)口產(chǎn)品,整機(jī)結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、劃片速度快、精度更高,能24小時(shí)長(zhǎng)期連續(xù)工作。
應(yīng)用領(lǐng)域
太陽(yáng)能行業(yè)單晶硅、多晶硅、非晶硅帶太陽(yáng)能電池片(cell)和硅片(wafer)的劃片(切割切片);
電子行業(yè)單晶硅和多晶硅硅片(wafer)的分離切割。
主要技術(shù)參數(shù)
激光波長(zhǎng) 1.064μm
劃片精度 ≤&plu***n;10μm
***大劃片厚度 1.2mm
劃片線(xiàn)寬 ≤30μm
激光重復(fù)頻率 200Hz~50kHz
***大劃片速度 200mm/s
激光***大功率 ≥20W
工作臺(tái)幅面 350×350mm
使用電源 380V(220V)/ 50Hz/ 5kVA
冷卻方式 恒溫循環(huán)水冷
工作臺(tái) 雙***負(fù)壓吸附,T型臺(tái)雙工位交替工作