真空設(shè)備檢漏

檢漏就是用一定的手段將示漏物質(zhì)加到被檢設(shè)備或密封裝置器壁的一側(cè)，用儀器或某一方法在另一側(cè)懷疑有泄漏的地方檢測(cè)通過(guò)漏孔漏出的示漏物質(zhì)，從而達(dá)到檢測(cè)的目的。檢漏的任務(wù)就是在制造、安裝、調(diào)試過(guò)程中，判斷漏與不漏、泄漏率的大小，找出漏孔的位置；與氦氣相比，使用低密度的安全氫氣作為檢漏用的示蹤氣體具有很多優(yōu)勢(shì)。在運(yùn)轉(zhuǎn)使用過(guò)程中監(jiān)視系統(tǒng)可能發(fā)生的泄漏及其變化。

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真空檢漏

超聲波法

該方法實(shí)際上是聽(tīng)音法的一種。它是將泄漏聲音中可聽(tīng)頻率部分截掉，僅僅使超聲波部分放大，以檢測(cè)出泄漏。檢測(cè)時(shí)，可以直接使用超聲波檢測(cè)器，根據(jù)檢測(cè)儀表指針是否擺動(dòng)，確定有無(wú)泄漏。也可以采用使超聲波回到可聽(tīng)頻率范圍內(nèi)鳴笛的方法。采用后一種原理制造的超聲波轉(zhuǎn)換器不僅在被試驗(yàn)物加壓時(shí)可以使用，在抽真空時(shí)，由于吸入的空氣發(fā)出超聲波，因而，采用真空法時(shí)也可以使用。它具有性能穩(wěn)定、靈敏度高、操作簡(jiǎn)便，檢測(cè)迅速等特點(diǎn)，是在真空檢漏技術(shù)中用得***普遍的檢漏儀器，其測(cè)量工作原理如下。

超聲波轉(zhuǎn)換器由于只檢測(cè)超聲波部分，在普通工廠的噪音條件下，不受明顯干擾，因此檢漏效果很好。

該法的靈敏度與被試驗(yàn)物體的加壓、減壓狀況、泄漏的大小、泄漏點(diǎn)與檢漏器（探頭）間的距離等因素有關(guān)。當(dāng)泄漏點(diǎn)與探頭距離很近時(shí)，超聲波轉(zhuǎn)換器的靈敏度可達(dá)1?10-2cm3/s。

檢漏時(shí)將檢漏器的靈敏度調(diào)到較大，一邊移動(dòng)探頭，一邊偵聽(tīng)，使能聽(tīng)到的超聲波發(fā)出的聲音達(dá)到較大。然后，再尋找發(fā)出超聲波的位置，以便確定泄漏點(diǎn)。但在探頭不易接近的地方出現(xiàn)泄漏時(shí)，就很準(zhǔn)確地判斷出泄漏點(diǎn)。這種方法操作簡(jiǎn)便，人為因素較小，不同檢測(cè)人員所得到的檢測(cè)結(jié)果基本相同。氦質(zhì)譜檢漏方法（以下簡(jiǎn)稱氦檢）以其高靈敏度和準(zhǔn)確性而通常應(yīng)用于整體防漏等級(jí)較高的壓力容器上。

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設(shè)備及密封器件的微小漏隙進(jìn)行***、定量和定性檢測(cè)的專用檢漏儀器。它具有性能穩(wěn)定、靈敏度高、操作簡(jiǎn)便，檢測(cè)迅速等特點(diǎn)，是在真空檢漏技術(shù)中用得普遍的檢漏儀器，

其測(cè)量工作原理如下。氦質(zhì)譜檢漏儀是根據(jù)質(zhì)譜學(xué)原理制成的磁偏轉(zhuǎn)型的質(zhì)譜分析計(jì)，用氦氣作為示漏檢測(cè)氣體制成的氣密性質(zhì)譜檢漏儀器。其結(jié)構(gòu)主要由進(jìn)樣系統(tǒng)、離子源、質(zhì)量分析器、收集放大器、冷陰極電離真空計(jì)等組成。離子源是氣體電離，形成一束具有特定能量的離子。質(zhì)量分析器是一個(gè)均勻的磁場(chǎng)空間，不同離子的質(zhì)荷比不同，在磁場(chǎng)中就會(huì)按照不同軌道半徑運(yùn)動(dòng)而進(jìn)行分離，在設(shè)計(jì)時(shí)只讓氦離子飛出分析器的縫隙，打在收集器上。收集放大器收集氦離子流并送入到電流放大器，通過(guò)測(cè)量離子流就可知漏率。冷陰極電離真空計(jì)指示質(zhì)譜室的壓力及用作保護(hù)裝置。至少要在10-3mbar以下，空氣的流動(dòng)才體現(xiàn)為分子流，質(zhì)譜儀才能穩(wěn)定正常工作。

真空設(shè)備檢漏與維修

為什么要檢漏

泄漏和密封相對(duì)應(yīng)

很多情況下，我們需要密封住一定的空間，防止氣體或液體在壓力的作用下，流進(jìn)或流出這個(gè)空間。如真空設(shè)備（真空鍍膜機(jī)，液晶注入機(jī)，PVD，半導(dǎo)體外延等等），需要在真空條件下工作，要求在工作時(shí)，空氣不能漏進(jìn)工作腔體，否則生產(chǎn)不能進(jìn)行，或者產(chǎn)生次品，浪費(fèi)人力物力。另外裝液體或氣體的容器（液壓氣瓶，氧氣瓶，空調(diào)冰箱中的雪種容器等等），要求在容器內(nèi)外存在壓差的情況下，不能有氣體或液體漏出。如果有漏，后果嚴(yán)重，一般會(huì)造成有效物資的浪費(fèi)，如***物資、腐蝕性氣體漏出，甚至?xí)劤墒鹿省Ｕ婵赵O(shè)備檢漏檢漏就是用一定的手段將示漏物質(zhì)加到被檢設(shè)備或密封裝置器壁的一側(cè)，用儀器或某一方法在另一側(cè)懷疑有泄漏的地方檢測(cè)通過(guò)漏孔漏出的示漏物質(zhì)，從而達(dá)到檢測(cè)的目的。

這些對(duì)密封性有要求的產(chǎn)品或設(shè)備，在投入使用前，就要***行檢漏，使用中也要定期進(jìn)行檢漏檢查。

以上就是為大家介紹的全部?jī)?nèi)容，希望對(duì)大家有所幫助。如果您想要了解更多 氫氣檢漏的知識(shí)，歡迎撥打圖片上的***聯(lián)系我們。