氫氣檢漏法的主要設備

(1)檢漏儀：采用上述工作原理制造的專用氫氣檢漏儀，由于氫氣的上述性質(zhì)，其靈敏度可以達到與氦檢相同水平。

(2)示蹤氣體充注控制器：對于批量生產(chǎn)的用戶，采用示蹤氣體充注控制器進行抽真空/充氣/排氣操作，可以完成對檢測管道的充氣和排氣過程自動化控制。

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真空檢漏

超聲波法

該方法實際上是聽音法的一種。檢漏的任務就是在制造、安裝、調(diào)試過程中，判斷漏與不漏、泄漏率的大小，找出漏孔的位置。它是將泄漏聲音中可聽頻率部分截掉，僅僅使超聲波部分放大，以檢測出泄漏。檢測時，可以直接使用超聲波檢測器，根據(jù)檢測儀表指針是否擺動，確定有無泄漏。也可以采用使超聲波回到可聽頻率范圍內(nèi)鳴笛的方法。采用后一種原理制造的超聲波轉(zhuǎn)換器不僅在被試驗物加壓時可以使用，在抽真空時，由于吸入的空氣發(fā)出超聲波，因而，采用真空法時也可以使用。

超聲波轉(zhuǎn)換器由于只檢測超聲波部分，在普通工廠的噪音條件下，不受明顯干擾，因此檢漏效果很好。

該法的靈敏度與被試驗物體的加壓、減壓狀況、泄漏的大小、泄漏點與檢漏器（探頭）間的距離等因素有關。當泄漏點與探頭距離很近時，超聲波轉(zhuǎn)換器的靈敏度可達1?10-2cm3/s。

檢漏時將檢漏器的靈敏度調(diào)到較大，一邊移動探頭，一邊偵聽，使能聽到的超聲波發(fā)出的聲音達到較大?？蛻粢部梢灾苯邮褂脷錃鈾z漏儀進行高靈敏的檢漏以避免溫度變化帶來的對壓降法檢漏的影響。然后，再尋找發(fā)出超聲波的位置，以便確定泄漏點。但在探頭不易接近的地方出現(xiàn)泄漏時，就很準確地判斷出泄漏點。這種方法操作簡便，人為因素較小，不同檢測人員所得到的檢測結果基本相同。

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真空設備檢漏

北京科儀創(chuàng)新真空技術有限公司（簡稱：科儀創(chuàng)新）出資成立，創(chuàng)建于2015年，注冊資金500萬。然后將被檢工件內(nèi)的空氣放空，放空后被檢工件預抽真空，充注4%氫氣和96%氮氣至1?？苾x創(chuàng)新產(chǎn)品主要有：薄膜制備設備，真空冶金設備，檢漏設備，真空系統(tǒng)等非標真空產(chǎn)品；系列分子泵，離子泵，鈦升華泵，深冷捕集泵等高真空獲得設備；系列干式渦旋泵，干式爪泵，干式螺桿泵等無油真空獲得設備；超高真空環(huán)境模擬設備等高新技術產(chǎn)品。

如何選擇檢漏方式，與檢測對象的工作環(huán)境有很大關系，盡量做到與檢測對象的工作狀態(tài)一致。但是，以氦氣作為示漏氣體，也有一些不足之處，例如橡膠、塑料等有機材料常常會吸收氦氣，在吸收后慢慢地釋放出來。如檢測對象工作時內(nèi)部處于正壓，則用正壓模式，如檢測對象工作時內(nèi)部處于負壓，則用真空模式。HLT260型氦質(zhì)譜檢漏儀具有嗅探和抽真空2種檢漏模式，即正壓模式和負壓模式。詳細檢漏方法與測量工作過程如下：

在抽真空方式下，待檢漏的器件通過測試端口與檢漏儀相連，

待測器件被檢漏儀內(nèi)部的粗抽泵和分子泵抽到一定的真空（如果待測器件容積較大，則需額外的泵組一起協(xié)同作業(yè)以提高xiao率）。使用聽診qi，某種程度上可以消除周圍噪音的影響，聽清泄漏聲音，但有時與泄漏無關的聲音（例如電機的聲音）也會混雜進來，從而影響檢漏靈敏度。只需測量待測器件外部大氣通過器壁的漏孔進入器件內(nèi)部的氦的多少便可以判斷漏率的大小。如果需要得到精que的漏率數(shù)值，則必須等待整個測量系統(tǒng)的真空達到穩(wěn)態(tài)，