航天技術(shù)的不斷發(fā)展， 泄漏問題已經(jīng)成為航天產(chǎn)品設(shè)計(jì)制造中必須考慮的關(guān)鍵因素，越來(lái)越多的收到各方關(guān)注，相關(guān)電子元器件漏率檢測(cè)已經(jīng)引起科研人員的高度重視，汽車行業(yè)檢漏公司，目前應(yīng)用檢漏技術(shù)的主要是為密封繼電器、集成電路外殼。.利用氫質(zhì)譜檢漏儀可以方便地對(duì)密封繼電器作漏率測(cè)定。針對(duì)不同的產(chǎn)品，采用合適的檢漏方法。目前密封繼電器的漏率檢測(cè)主要是GJB360A-96的112實(shí)驗(yàn)程序。

對(duì)檢漏方法的要求：穩(wěn)定性好，即可以在足夠長(zhǎng)時(shí)間內(nèi)靈敏度；所用“示蹤氣體”在空氣中含量低，***，不腐蝕零件；氦質(zhì)譜檢漏主要領(lǐng)域：空調(diào)制冷工業(yè)——壓縮機(jī)、冷凝器、蒸發(fā)器及閥門等；真空科學(xué)與工業(yè)——泵、閥門、真空規(guī)管以及鍍膜機(jī)、真空爐等真空系統(tǒng)；對(duì)于容積較小的部件，如波紋管、各種充氣接頭和氣管焊接件等，采用氦罩法被檢工件抽空，檢漏儀調(diào)到漏率（10-11Pa.m3/s），然后對(duì)氦罩沖氦。

氦質(zhì)譜檢漏儀主要技術(shù)指標(biāo)：1. 小可檢漏率：5×10-12Pa·m3/s。2. 漏率顯圍：1×10-3—1×10-12Pa·m3/s氦質(zhì)譜檢漏儀不會(huì)受到主觀因素判斷的影響；檢測(cè)的數(shù)據(jù)；自動(dòng)生成數(shù)據(jù)保存，可追溯數(shù)據(jù)來(lái)源。氦氣檢漏儀關(guān)鍵零部件集優(yōu)采購(gòu)，保證了系統(tǒng)的穩(wěn)定性和可靠性；真空箱內(nèi)氦氣本底抑零，保證了檢漏的準(zhǔn)確性、；

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