半導(dǎo)體工業(yè)用的氣體統(tǒng)稱電子氣體。按其門類可分為純氣，高純氣和半導(dǎo)體特殊材料氣體三大類。特殊材料氣體主要用于外延，摻雜和蝕刻工藝；高純氣體主要用作稀釋氣和運(yùn)載氣。電子氣體是特種氣體的一個重要分支。電子氣體按純度等級和使用場合，可分為電子級，液氨生產(chǎn)，LSI（大規(guī)模集成電路）級，VLSI（超大規(guī)模集成電路)級和ULSI(特大規(guī)模集成電路）級。    

           近幾年來，智研數(shù)據(jù)研究中心隨著我國超大規(guī)模集成電路、平板顯示器、光伏發(fā)電等產(chǎn)業(yè)的迅速發(fā)展，電子氣體市場需求量明顯增長，電子特種氣體的國產(chǎn)化已是大勢所趨。據(jù)了解，我國在國產(chǎn)化方面取得可喜進(jìn)展：國產(chǎn)高純氨改變了國外氣體公司壟斷市場的格局，高純四氟化碳“有價無貨”時代也宣告結(jié)束，高純已成功打開。

電子氣體主要包括：、、乙、化氫、硒化氫、、四氟化碳、化三氫、、三氯化硼、三氟***、三氟化氮、、六、六氟化鎢、六氟化硫、、磷烷、、、氣、氨氣、電子級等.

其中六氟化硫、電子級、、磷烷使用較多。

一般說來，痕量分析或毛細(xì)管色譜的載氣純化程度，要高于常規(guī)分析。特別是電子捕獲、熱導(dǎo)池檢測器，載氣純度直接影響靈敏度和穩(wěn)定性，一定要嚴(yán)格凈化。

操作不同檢測器推薦使用的氣體純度我們推薦氣體純度的技術(shù)要求，通常用于常規(guī)分析，液氨供應(yīng)，對于特殊高靈敏度的痕量分析應(yīng)采用高一級純度的氣體，如果不在意色譜柱和儀器的使用壽命，或分析樣品組分濃度很高時，也可以不使用過高純度的氣體。

由于各個制氣廠設(shè)置不同，其雜質(zhì)含量將有所不同;為滿足不同的使用要求，選用不同廠家不同純度的氣源后，可以通過氣體凈化處理滿足分析要求，對于不同雜質(zhì)的氣體采用何種凈化方法和裝置，留待以后再加以討論。

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