半導體工業(yè)用的氣體統(tǒng)稱電子氣體。按其門類可分為純氣，高純氣和半導體特殊材料氣體三大類。特殊材料氣體主要用于外延，摻雜和蝕刻工藝；高純氣體主要用作稀釋氣和運載氣。電子氣體是特種氣體的一個重要分支。電子氣體按純度等級和使用場合，可分為電子級，LSI（大規(guī)模集成電路）級，VLSI（超大規(guī)模集成電路)級和ULSI(特大規(guī)模集成電路）級。
近幾年來，智研數(shù)據(jù)研究中心隨著我國超大規(guī)模集成電路、平板顯示器、光伏發(fā)電等產(chǎn)業(yè)的迅速發(fā)展，電子氣體市場需求量明顯增長，電子特種氣體的國產(chǎn)化已是大勢所趨。據(jù)了解，我國在國產(chǎn)化方面取得可喜進展：國產(chǎn)高純氨改變了國外氣體公司壟斷市場的格局，冷庫液氨，高純四氟化碳“有價無貨”時代也宣告結束，液氨供應，高純已成功打開。
電子氣體主要包括：、、乙、化氫、硒化氫、、四氟化碳、化三氫、、三氯化硼、三氟***、三氟化氮、、六、六氟化鎢、六氟化硫、、磷烷、、、氣、氨氣、電子級等.
其中六氟化硫、電子級、、磷烷使用較多。
工業(yè)體廠家淺談六氟化硫微水危害大么？對于六氟化硫微水怎么處理？
在電弧作用下，SF6分解為氟原子和硫原子，設備觸頭則蒸發(fā)出金屬Cu和W蒸汽，液氨，六氟化硫微水超標就會導致水分和這些蒸汽生成金屬氟化物腐蝕元部件表面。
另還可能有、HF等物質，不但會腐蝕設備，液氨生產(chǎn)廠家，一旦發(fā)生泄漏就會直接危害工作人員的生命健康。
我們使用SF6作為絕緣氣體是看中了其自身的優(yōu)越絕緣性，但是六氟化硫微水過多，導致水氣結霜會使得絕緣強度下降，直接影響設備的正常運轉。
看來六氟化硫微水的問題不可小看啊，極微量的水分不會造成大的影響，但是如果超標就會導致設備絕緣性能下降、腐蝕元部件、危害工作人員健康等一系列連鎖反應。
為了避免六氟化硫微水可能造成的危害，我們應該從上解決這個問題。購買品牌廠家生產(chǎn)的SF6氣體，確保在氣體出廠時水分就合格，是解決問題的好方法。
問：液態(tài)氦氣是不是氦氣？
答：液態(tài)氦氣就是在極低溫度下氣態(tài)氦氣轉化而來的液態(tài)氦，簡稱液氦。氦在通常情況下為無色、無味的氣體，沸點-268.785℃，它的沸點是已知物質中低的（比氫氣還要低）。所以當溫度在4.18K時，氣體氦氣的性質同一般液體一樣，加以適當?shù)膲毫娃D化為液態(tài)氦氣了。實際上液態(tài)氦氣的制作不僅僅需要低溫，要知道氦氣是一沒有三相點的物質，想要得到液態(tài)氦氣除了低溫之外，還需要一定的壓力。
問：液態(tài)氦氣該如何貯存？一般的容器可以盛裝液態(tài)氦氣么?
答：液態(tài)氦氣沸點極低，當溫度降至2.178K時，就轉變?yōu)橐环N粘度接近于零的具有流動性的液氦，此時的液態(tài)氦氣被稱為超流體。此時的液態(tài)氦氣能過擴散穿過許多常用的實驗室材料，例如玻璃、橡膠、PVC等。所以液態(tài)氦氣的貯存需要使用的器皿。液氦以低溫儲存時，其蒸氣壓低，所以以低壓容器即可儲存，一般都以真空夾層容器儲存，內罐材質採用SUS304，可耐低溫。
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