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超聲波顯微鏡在失效分析中的應(yīng)用
晶圓面處分層缺陷 錫球、晶圓、或填膠中的開(kāi)裂晶圓的傾斜各種可能之孔洞(晶圓接合面、錫球、填膠…等)。超聲波顯微鏡的在失效分析中的優(yōu)勢(shì)非***性、無(wú)損檢測(cè)材料或IC芯片內(nèi)部結(jié)構(gòu) 可分層掃描、多層掃描 實(shí)施、直觀的圖像及分析 缺陷的測(cè)量及缺陷面積和數(shù)量統(tǒng)計(jì) 可顯示材料內(nèi)部的三維圖像 對(duì)***是沒(méi)有傷害的 可檢測(cè)各種缺陷(裂紋、分層、夾雜物、附著物、空洞、孔洞等)
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紅外光顯微鏡在生物學(xué)中的應(yīng)用范圍是有限的。當(dāng)用可見(jiàn)光觀察不透明的某些物體時(shí),在較溉的紅外光區(qū)域就會(huì)變得透明,這種效應(yīng)已經(jīng)被用于研究在某些昆蟲(chóng)中發(fā)現(xiàn)的滲入黑色素的甲殼質(zhì)層。但是,某些有機(jī)物質(zhì)在2-30微米波長(zhǎng)范圍內(nèi)的吸收特性實(shí)際上并沒(méi)有應(yīng)用到生物學(xué)物質(zhì)的定性和定量的顯微研究中,除了儀器和像的記錄問(wèn)題而外,等離子開(kāi)封機(jī)價(jià)格,也由于在這種波長(zhǎng)范圍內(nèi)分辨力的損失已經(jīng)變得十分引人注目。一個(gè)數(shù)值孔徑為0.6物鏡的小分辨距離大約與所使用的光線的波長(zhǎng)是相等的,這就意味著使用一個(gè)這樣孔徑的反射物鏡,以波長(zhǎng)為10μm的紅外光觀察一個(gè)直徑為10μm左右的細(xì)胞幾乎是不可能的。
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