對于容積較小的部件，如波紋管、各種充氣接頭和氣管焊接件等，采用氦罩法被檢工件抽空，檢漏儀調(diào)到漏率（10-11Pa。m3/s），然后對氦罩沖氦。使用氦氣噴在管道密封接頭，焊縫處噴氦，如果被檢管道某處有泄漏，當(dāng)氦噴到漏孔上時，氦氣會立刻被吸入到真空系統(tǒng)，從而擴(kuò)散到質(zhì)譜室內(nèi)，檢漏儀感應(yīng)到氦就會立刻有響應(yīng)。從而達(dá)到了檢漏的結(jié)果。檢漏設(shè)備應(yīng)在施工工作完成后進(jìn)行本測試，測試完成后不得進(jìn)行焊縫的修磨等。若設(shè)備被浸濕或有殘余的液體都會影響毛細(xì)管的泄漏而影響測試結(jié)果的真實(shí)性。

真空檢漏的具體方法檢漏步驟為：檢查機(jī)械泵與羅茨泵連接的波紋管法蘭，很容易由于波紋管法蘭膠圈沒壓好或波紋管焊口損壞造成漏氣，由于機(jī)械泵運(yùn)轉(zhuǎn)的振動較大的，法蘭螺栓容易松動，球囊管路氣密性測試，波紋管焊口長時間受振動也會導(dǎo)致裂紋造成漏氣。檢查壓差閥或放氣閥進(jìn)氣口及機(jī)械泵、羅茨泵、擴(kuò)散泵的外殼是否漏氣。放氣閥的電源被忘接或閥的磁感應(yīng)線圈被燒壞導(dǎo)致閥無法正常關(guān)閉也會導(dǎo)致漏氣。

為了避免事故的發(fā)生，化工廠商在投建廠房時就應(yīng)該對化學(xué)管道和設(shè)備做氣密檢漏并且后期生產(chǎn)中也需要定期檢漏。對于分裝或總裝，采用吸入法。被檢工件沖入氦-氮混合氣體，利用被檢工件裝配面或疑是漏點(diǎn)進(jìn)行找漏。檢漏儀顯示數(shù)值超過規(guī)定值即為有漏。測漏壓力應(yīng)不高于設(shè)備設(shè)計壓力的25%，但不低于103MP。設(shè)備備保壓30分鐘后，用掃描率不大于25mm/秒或更慢的速度在距離焊縫表面不大于3mm的范圍內(nèi)用吮吸，并應(yīng)從焊縫底部至上而行。

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