掃描電鏡廣泛應(yīng)用于許多學(xué)科領(lǐng)域

臺(tái)式掃描電鏡在材料科學(xué)、金屬材料、陶瓷材料半導(dǎo)體材料、化學(xué)材料等領(lǐng)域，進(jìn)行材料的微觀形貌、***、成分分析，各種材料的形貌***觀察，材料斷口分析和失效分析，材料實(shí)時(shí)微區(qū)成分分析，元素定量、定性成分分析，快速的多元素面掃描和線掃描分布測量，晶體/晶粒的相鑒定，晶粒尺寸、形狀分析，晶體、晶粒取向測量。

　　掃描電鏡具有高分辨率，景深大，立體感強(qiáng)，放大倍數(shù)可調(diào)等優(yōu)點(diǎn)，因此廣泛用于半導(dǎo)體，無機(jī)非金屬材料和器件的檢測。除了時(shí)間和費(fèi)用外，它還對(duì)電子顯微鏡的操作者產(chǎn)生了束縛，是研究微觀世界的重要工具之一。它為人們提供了研究納米尺度物質(zhì)結(jié)構(gòu)的有力手段，已廣泛應(yīng)用于許多學(xué)科領(lǐng)域，例如材料科學(xué)和質(zhì)量過程控制

掃描電鏡之電子探針的試樣要求

具有較好的電導(dǎo)和熱導(dǎo)性能

金屬材料一般都有較好的導(dǎo)電和導(dǎo)熱性能，而硅酸鹽材料和其它非金屬材料一般電導(dǎo)和熱導(dǎo)都較差。后者在入射電子的轟擊下將產(chǎn)生電荷積累，造成電子束不穩(wěn)定，圖像模糊，并經(jīng)常放電使分析和圖像觀察無法進(jìn)行。試樣導(dǎo)熱性差還會(huì)造成電子束轟擊點(diǎn)的溫度顯著升高，往往使試樣中某些低熔點(diǎn)組份揮發(fā)而影響定量分析準(zhǔn)確度度。

電子束轟擊試樣時(shí)，只有0.5%左右的能量轉(zhuǎn)變成X 射線， 其余能量大部份轉(zhuǎn)換成熱能，熱能使試樣轟擊點(diǎn)溫度升高，Castaing用如下公式表示溫升△T(K):

式中V。(kV)為加速電壓，i(μA)為探針電流，d(μm)為電子束直徑，k 為材料熱導(dǎo)率(Wcm-1k-1)。例如，對(duì)于典型金屬(k=1 時(shí))，當(dāng)V。＝20kV，d＝1μm，i＝1μA 時(shí)，△T＝96K。 對(duì)于熱導(dǎo)差的典型晶體，k=0.1，典型的有機(jī)化合物k=0.002。對(duì)于熱導(dǎo)差的材料，如K=0.01， V0=30kV， i=0.1μA， d=1μm時(shí)， 由公式得ΔT=1440K。如果試樣表面鍍上10nm的鋁膜，則ΔT減少到760K。因此， 對(duì)于硅酸鹽等非金屬材料必須在表面均勻噴鍍一層20nm左右的碳膜、鋁膜或金膜等來增加試樣表面的導(dǎo)電和導(dǎo)熱性能。

掃描電子顯微鏡能滿足多數(shù)材料的顯微觀察

　臺(tái)式掃描電子顯微鏡與傳統(tǒng)大型掃描電子顯微鏡相比具有體積小巧、操作簡便、價(jià)格便宜、快速抽真空等優(yōu)勢，顯微鏡分辨力能滿足多數(shù)材料的顯微觀察。

　　電子顯微鏡填補(bǔ)了光學(xué)顯微鏡與傳統(tǒng)大型掃描電子顯微鏡之間的分辨率空白區(qū)域，可廣泛應(yīng)用于材料科學(xué)、納米顆粒、生物***、食品***、紡織纖維、地質(zhì)科學(xué)等諸多領(lǐng)域，具有體積小，低廠務(wù)需求（無須冷卻水，安裝桌面?。?，更換樣品快速，操作簡單，維修容易，可安裝客戶定制分析軟件等特點(diǎn)，同時(shí)各具特色，分別針對(duì)不同的應(yīng)用需求。

　　電子顯微鏡具有傳統(tǒng)顯微鏡20倍的分辨率，天津生物樣品電鏡測試，提供高分辨率成像，非常適合科研人員，工程師獲取高質(zhì)量的亞微米分辨率圖像，這款臺(tái)式掃描電子顯微鏡容易使用，用戶接受培訓(xùn)10分鐘即可***操作，適合材料科學(xué)，微電子等領(lǐng)域獲取高分辨率圖像。