產(chǎn)品原理

磁控濺射電源的陽(yáng)極、陰極分別連接做基體和靶材上，將一個(gè)強(qiáng)烈磁控管裝置做靶材后部。當(dāng)鍍膜室被抽成真空狀態(tài)時(shí)，充入一下***氣等惰性氣體，鍍膜室內(nèi)的高壓將***原子電離成電子和***離子，形成等離子異常輝光放電。電離出來(lái)的電子在高壓電場(chǎng)的作用下，做加速運(yùn)動(dòng)，不斷與***原子發(fā)生強(qiáng)烈碰撞，這樣產(chǎn)生許多二次電子和***離子。電子經(jīng)過多次碰撞，電子的動(dòng)能就會(huì)降低，從而脫離了磁力線的束縛，***終落在鍍膜室內(nèi)壁、陽(yáng)極和集體上。***原子受到多次***離子碰撞，得到了大量動(dòng)能，從而脫離了原來(lái)晶格束縛，飛向基片，從而大量的靶材原子積累在基體表面、沉積形成薄膜。組成靶材各種材料都可以成為陰極靶，用來(lái)進(jìn)行濺射鍍膜。當(dāng)靶材的材料不同時(shí)，磁控濺射工藝對(duì)電源輸出特性也不盡相同。

產(chǎn)品參數(shù)

輸 入  電 壓：市電AC380V&plu***n;10% 

輸出功率范圍：0~80kW 

輸出電壓范圍：0~&plu***n;5000V 

輸出電流范圍：0~&plu***n;100A 

脈沖頻率范圍：0~50Hz

產(chǎn)品特點(diǎn)

適用于真空磁控濺射，可以根據(jù)真空設(shè)備與濺射要求設(shè)定電流、電壓閾值， 工作頻率、輸出極性、工作模式；

本電源能實(shí)現(xiàn)交直流切換輸出；穩(wěn)流穩(wěn)壓多種模式切換；

中頻、偏壓兩種編程輸出；輸出剝削可以設(shè)置實(shí)現(xiàn)正弦、脈沖方波、三角波、 梯形波等多種波形。