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型號(hào) |
LCVD-G4.5 |
LCVD-G8.5 |
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外形 |
2,500mm（寬） x2,000mm（長） x 2,500 mm (高 ) |
4,000mm（寬） x3,500mm（長） x 2,500 mm (高 ) |
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重量 |
6.5噸左右 |
10.5噸左右 |
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電力需求 |
380V，50Hz, 3Phase, approx. 40A Max |
380V，50Hz, 3Phase, approx.60A Max |
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修復(fù)能力 |
可修復(fù)產(chǎn)品尺寸 |
長寬≤920 * 730 mm(W x D) , 厚度≤3mm |
長寬≤2500 * 2200 mm(W x D) , 厚度≤3mm |
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沉積材質(zhì) |
W,Cr,Mo,Al |
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沉積線路速度 |
5~10um/s(厚度5000 埃) |
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單處缺陷修復(fù)時(shí)長 |
***后，修復(fù)單處缺陷時(shí)間在5s左右 |
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工藝參數(shù) |
軟件可以添加任意組工藝參數(shù) |
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Cutting寬度 |
2um到50um可調(diào) |
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沉積寬度 |
3um到30um可調(diào) |
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沉積邊緣精度 |
+-0.5um |
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沉積厚度 |
2000 ~15000 ?？烧{(diào) |
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沉積線路的電阻值 |
<65歐姆 (寬度5um, 長度50um,厚度5000 埃) |
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沉積穩(wěn)定性 |
1.清洗機(jī)清洗次數(shù)>10 times |
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2.棉簽蘸擦拭>500次 |
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3.強(qiáng)酸堿測試>1H |
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3.毛刷擦拭>1H |
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4.超聲波1MHZ>1H |
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平臺(tái)功能 |
Gantry結(jié)構(gòu) |
龍門式 |
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X-Y-Z運(yùn)動(dòng)行程 |
920 *730*58mm(X-Y-Z) |
2500 *2200*58mm(X-Y-Z) |
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X-Y運(yùn)動(dòng)速度 |
0~200mm/s可調(diào) |
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精度(***小移動(dòng)量) |
0.1um |
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Z 運(yùn)動(dòng)速度 |
0~2mm/s可調(diào) |
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精度(***小移動(dòng)量) |
0.1um |
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重復(fù)***精度 |
+-5um |
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修復(fù)對位精度 |
0.1um |
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減震 |
主動(dòng)式減震系統(tǒng)，能夠?qū)崿F(xiàn)50X 物鏡下畫面不抖動(dòng) |
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照明 |
平臺(tái)有下光源，并且能夠上下光源切換，罩內(nèi)安裝照明，照度達(dá)到1000lux以上。 |
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光學(xué)特性 |
光路系統(tǒng)倍率： |
50X~ 1000X |
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5X ,10X ,20X , 50X NIR, 50X UV,50X NUV Objects |
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光學(xué)分辨率 |
0.7um |
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物鏡切換速度 |
0.2~0.7s |
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切換鏡頭偏差 |
小于3um |
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聚焦 |
激光自動(dòng)聚焦 |
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相機(jī) |
200萬像素 |
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激光特性 |
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能量調(diào)節(jié)精度 |
0-1000 steps |
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0-100% |
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Slit 窗口調(diào)節(jié)大小 |
0~2.4mm |
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slit 窗口控制精度 |
1um |
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激光能量校準(zhǔn)方式 |
自動(dòng)校準(zhǔn) |
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校準(zhǔn)時(shí)間 |
3mins |
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激光能量校準(zhǔn)精度 |
優(yōu)于2% |
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脈寬 |
< 12 ns |
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光斑尺度 |
2.0~ @50X object 1064nm (在標(biāo)準(zhǔn)mask上測試) |
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掃描面能量均勻性 |
優(yōu)于5% IR |
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修復(fù)工作模式 |
Scan掃描式和 Step模式 |
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掃描路徑 |
可任意定義路徑 |
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控制 |
工作模式 |
自動(dòng)修復(fù)，實(shí)現(xiàn)數(shù)據(jù)的自動(dòng)導(dǎo)入和輸出，聯(lián)機(jī)通訊 |
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手動(dòng)或者半自動(dòng)修復(fù) |
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上下片 |
機(jī)械手或者流水線 |
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CIM系統(tǒng) |
有 |
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減震 |
主動(dòng)式減震系統(tǒng)，能夠?qū)崿F(xiàn)50X 物鏡下畫面不抖動(dòng) |
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工業(yè)PC |
23寸顯示器&電腦：i7 處理器，1TB硬盤2塊(其中一塊為備份硬盤)，8G內(nèi)存，1G***顯卡，DVD-ROM |
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通訊接口 |
RS232/EtherCAT/GPIB等 |
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安全 |
整機(jī)帶罩，操作人員在罩外操作 |
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緊急開關(guān)EMO |
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限位sensor，運(yùn)動(dòng)平臺(tái)和激光系統(tǒng)限位互鎖 |
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Interlock報(bào)警，自動(dòng)關(guān)閉系統(tǒng)(軟件設(shè)置為可選) |
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應(yīng)用 |
TFT-LCD 和 OLED Panel 布線開路和短路的修復(fù),Mask 的缺陷修復(fù) |
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鑫志尚（深圳）電子有限公司
普通會(huì)員第16年
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公司主營：探針臺(tái),半自動(dòng)探針臺(tái) 失效分析探針臺(tái) 真空高低溫探針臺(tái) 激光修復(fù)儀 鐳射修補(bǔ)機(jī) 模組激光修補(bǔ)機(jī)