納米氧化硅拋光液是一種均勻穩(wěn)定的納米氧化硅分散漿料,是以高純度硅粉為原料,經(jīng)特殊工藝生產(chǎn)的一種高純度低金屬離子型拋光產(chǎn)品。納米氧化硅拋光液具有優(yōu)異的分散性和穩(wěn)定性,能夠長期儲存穩(wěn)定無沉淀。廣泛用于多種材料納米級的高平坦化拋光。如:硅片、化合物晶體、精密光學器件、寶石等的拋光加工。
產(chǎn)品特點
1、高拋光速率,利用大粒徑的膠體二氧化硅粒子達到高速拋光的目的(可以生產(chǎn)150 nm)
2、粒度可控,根據(jù)不同需要,可生產(chǎn)不同粒度的產(chǎn)品(10-150 nm)
3、高純度(Cu含量小于50 ppb),有效減小對電子類產(chǎn)品的沾污
4、高平坦度加工,本品拋光利用SiO2的膠體粒子,不會對加工件造成物理損傷,達到高平坦化加工
應用領域
1、 光通訊領域,配合公司專門為光纖連接器開發(fā)的拋光產(chǎn)品,能達到超精細拋光效果,拋光后連接器端面沒有劃傷和缺陷,3D指標和反射衰減指標達到國際標準。
2、 硬盤基片的拋光,SiO2磨料呈球形,具有粒度均勻、分散性好、平坦化效率高等優(yōu)點。
3、 硅晶圓、藍寶石等半導體及襯底材料的粗拋和精拋,具有拋光速率高,拋光后易清洗,表面粗糙度低,能夠得到總厚偏差(TTV)***的質量表面。
4、其他領域的應用,如不銹鋼、光學玻璃等領域,拋光后能達到良好的拋光效果