鄭州科佳電爐有限公司生產(chǎn)的多通道質(zhì)子混氣供氣系統(tǒng)(主要產(chǎn)品是1-4通道混氣供氣),可將多種氣體按一定比例均勻混合后通入到管式爐中。各種氣體的流量是通過(guò)精密的質(zhì)量流量計(jì)來(lái)控制,流量計(jì)和混氣罐都安裝在一個(gè)移動(dòng)柜內(nèi),而且移動(dòng)柜頂部可以放置管式爐。此系列設(shè)備可用于搭建CVD系統(tǒng),也可為樣品退火提供所需的氣氛環(huán)境。
技術(shù)參數(shù)
設(shè)備名稱(chēng) |
4通道供氣系統(tǒng)GSL-4Z |
3通道供氣系統(tǒng)GSL-3Z |
2通道供氣系統(tǒng)GSL-2Z |
供氣系統(tǒng) |
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移動(dòng)柜 |
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壓力表量程 |
-0.1~0.15 MPa (0.01 MPa/grid) |
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不銹鋼截止閥 |
采用316不銹鋼制作 |
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氣體連接管 |
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混氣罐尺寸 |
Φ80X120mm |
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儀器尺寸 |
600x600x650 mm |
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質(zhì)保 |
一年質(zhì)保期,終生維護(hù) |