分子泵是利用高速旋轉(zhuǎn)的轉(zhuǎn)子把動(dòng)量傳輸給氣體分子,使之獲得定向速度,從而被壓縮、被驅(qū)向排氣口后為前級(jí)抽走的一種真空泵。尤其是脂潤(rùn)滑分子泵,作為超高真空領(lǐng)域的真空獲取設(shè)備,因其啟動(dòng)塊、能耗低、運(yùn)轉(zhuǎn)壽命長(zhǎng)、可靠性高、可獲得完全無(wú)油的清潔真空等特點(diǎn),近年在真空技術(shù)應(yīng)用領(lǐng)域逐漸普及。
KYKY系列分子泵應(yīng)用領(lǐng)域很廣,主要應(yīng)用在太陽(yáng)能光伏、LOW-E玻璃、半導(dǎo)體制造、真空檢漏、真空鍍膜、制燈、光盤(pán)、分析儀器等諸多行業(yè)。
技術(shù)參數(shù)
FF-250/1600
抽氣速率(1/s):1600
壓縮比:N2:108;H2:5×105
極限壓強(qiáng)(Pa):≤1×106
額定轉(zhuǎn)速(rpm):27000
軸承:陶瓷軸承(耐腐蝕泵需通保護(hù)氣體)
排氣口法蘭:KF40 (DN40 ISO-KF)
進(jìn)氣口法蘭:LF250(DN250 ISO-K)
振動(dòng)值((μm)):: ≤0.1
冷卻水溫度(℃):≤25
泵體烘烤溫度:≤100
環(huán)境溫度(℃):5-40
充油量(ml):150
安裝方式:豎直&plu***n;50
重量(kg):47
分子泵與擴(kuò)散泵及其他超高真空泵相比有以下特點(diǎn):
極限壓力低,***的泵能獲得10-8Pa的極限壓力;
工作壓力范圍廣,在九個(gè)數(shù)量級(jí)的范圍內(nèi)有穩(wěn)定抽速;
結(jié)構(gòu)緊湊,由置于泵體內(nèi)的中頻電機(jī)直接驅(qū)動(dòng)轉(zhuǎn)子轉(zhuǎn)動(dòng);
體積小,抽速大,獲得的高真空系統(tǒng)清潔無(wú)油;
工作震動(dòng)小,噪音低,工作平穩(wěn),啟動(dòng)時(shí)間短,效率高;
耗能少,節(jié)省能源,是一種省電配置。