Seeyu系列設(shè)備是一款類金剛石涂層中高品質(zhì)、不含氫類金剛石膜層ta-C的PVD涂層設(shè)備。在技術(shù)上,Seeyu采用過濾型陰極弧離子源和磁控濺射作為等離子體發(fā)射源,配合以具有世界***水準(zhǔn)的設(shè)計和工藝,從而確保涂層產(chǎn)品的高品質(zhì)。Seeyu系列涂層設(shè)備所生產(chǎn)的涂層產(chǎn)品可應(yīng)用于***工模具之上,也可應(yīng)用于有***耐磨性要求和自潤滑要求的零件之上。
Seeyu系列涂層設(shè)備具有良好穩(wěn)定性和高度自動化程度,帶有成熟的ta-C涂層工藝。開放式的用戶界面也為用戶根據(jù)自身要求***開發(fā)工藝提供了可行性。
技術(shù)特點:
● PVD沉積技術(shù):過濾型陰極弧離子源和磁控濺射
● 0.1um~2um厚ta-C涂層工藝
● 涂層沉積工藝氣體:Ar
● 控制方式:PLC加工業(yè)PC全自動控制
典型應(yīng)用:
● 有色金屬、石墨、亞克力等材料的切削刀具
● 高精密鏡面模具
● 半導(dǎo)體封裝模具
● 自潤滑耐磨零件