~晶體/藍寶石/精密金屬等拋光用吸附墊
主要用于半導體硅晶體材料,寶石晶體片,硅片外延片等產(chǎn)品的單面拋光,屬于電子材料的拋光裝置。這是一種圓形的、由多層樹脂材料組成的復合結(jié)構(gòu)、硅片用水(或研磨液)粘貼在鑲嵌層圓孔內(nèi)的吸附膜上。采用本實用新型,可對硅片,藍寶石進行無蠟拋光,其表面總厚度變化小于6μm,省時、省力,本實用新型制造簡單、成本低。
1. 產(chǎn)品特點
1) 優(yōu)質(zhì)平整度并提高生產(chǎn)力
2) 無須溶劑洗滌,可縮短工藝時間
3) 吸水度比其他產(chǎn)品高3倍以上
4) 價格競爭力高,可降低成本,且環(huán)保
2. 適用范圍
1) 專門用于安裝無蠟硅晶片、LCD基片及玻璃面板
2) ITO導電玻璃、玻璃基片、光掩模及LCD面罩拋光