全自動光學鍍膜設備主要技術指標:
設備型號 | GX-900A | GX-1100A | GX-1200A | GX-1350A | GXW-1600A |
尺寸 | 900×1050 | 1100×1200 | 1200×1450 | 1350×1500 | 1600X1000 |
制膜種類 | 光學增透膜、減反射膜(AR)、寬帶增透、單點增透、截止濾光片、七彩裝飾功能膜等 | ||||
工件夾具 | 拱型四片裝夾、拱型單工件盤公轉、三工件盤行星公自轉、12軸公自轉(臥式) | ||||
加熱系統(tǒng) | 發(fā)熱管上加熱方式,PID控制,***高溫度350度 | ||||
結構 | 立式前開門、臥式前開門(304不繡鋼)、后置真空系統(tǒng) | ||||
真空系統(tǒng) | 滑閥泵(旋片泵)+羅茨泵+擴散泵+維持泵(或選配:分子泵、深冷泵、深冷系統(tǒng)) | ||||
氣體系統(tǒng) | 質量流量控制儀+電磁閥 | ||||
電子槍 | 電子槍四圓形坩堝加一個U形坩堝,高壓4KV-8KV可調,可自由選擇三角波、正弦波、方波掃描電動*** | ||||
電阻蒸發(fā)源 | 2組電阻蒸發(fā)源 | ||||
離子源 | 功率2KW,陽極電流***大6A。雙燈絲(自動切換)提高附著力、膜層密度、穩(wěn)定折射率。(霍爾源) | ||||
晶振膜厚儀 | 由美國產晶振膜厚儀SQC-310與PLC構成全自動控制抽真空及電子束自動蒸發(fā)系統(tǒng),實現設備的全自動控制 | ||||
極限真空 | 8×10-4pa(空載、凈室) | ||||
抽氣時間 | 空載大氣抽至5×10-2pa小于6分鐘 | ||||
工件旋轉 | 6軸/8軸/9軸公自轉/變頻無級調速 | ||||
控制方式 | 手動+半自動+全自動一體化/觸摸屏+PLC | ||||
備注 | 真空室尺寸可按客戶產品及特殊工藝要求訂做 |