MAL標(biāo)準(zhǔn)型鋁合金迷你氣缸|實用超高真空***校準(zhǔn)技術(shù)，氣缸***世安！
直接比對法超高真空校準(zhǔn)裝置是以一只超高真空規(guī)作為參照標(biāo)準(zhǔn)對其它超高真空規(guī)進(jìn)行校準(zhǔn),結(jié)構(gòu)簡單,操作容易,費用適中,一般校準(zhǔn)實驗室可以建立。但這種方法不確定度大。
MAL標(biāo)準(zhǔn)型鋁合金迷你氣缸參數(shù)概述
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內(nèi)徑 |
20 |
25 |
32 |
40 |
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動作形式 |
MSAL、MTAL系列 |
單動型 |
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其它系列 |
復(fù)動型 |
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工作介質(zhì) |
空氣 |
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使用壓力范圍 |
復(fù)動型 |
0.1~1.0MPa（10~145Psi） |
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單動型 |
0.2~1.0MPa（28~145Psi）） |
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MAL標(biāo)準(zhǔn)型鋁合金迷你氣缸|實用超高真空***校準(zhǔn)技術(shù)，氣缸***世安！
真空微電子技術(shù)和空間航天器等方面具有廣泛的應(yīng)用價值。超高真空規(guī)是超高真空測量的主要工具,要得到準(zhǔn)確的測量結(jié)果,就必須對超高真空規(guī)進(jìn)行***校準(zhǔn)。
MAL標(biāo)準(zhǔn)型鋁合金迷你氣缸的行程表：
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內(nèi)徑 |
標(biāo)準(zhǔn)行程（mm） |
***大行程 |
容許行程 |
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MAL |
20 |
25 50 75 80 100 125 150 160 175 200 250 300 |
500 |
800 |
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25 |
25 50 75 80 100 125 150 160 175 200 250 300 350 400 450 500 |
800 |
1200 |
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32 |
800 |
1200 |
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40 |
1200 |
1500 |
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MSAL |
20 |
25 50 75 100 125 150 |
150 |
- |
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25 |
150 |
- |
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32 |
150 |
- |
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40 |
150 |
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MAL標(biāo)準(zhǔn)型鋁合金迷你氣缸|實用超高真空***校準(zhǔn)技術(shù)，氣缸***世安！
采用磁懸浮轉(zhuǎn)子規(guī)實現(xiàn)超高真空校準(zhǔn),是一項實用超高真空***校準(zhǔn)技術(shù),不僅避免了動態(tài)流量法超高真空標(biāo)準(zhǔn)裝置的缺點,也避免了直接比對法超高真空校準(zhǔn)裝置的缺點。
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